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晶圆异常分析的方法、装置、电子设备及可读存储介质
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110726067.3
申请日：
2021-06-29
公开(公告)号：
CN113448787B
公开(公告)日：
2021-09-28
发明(设计)人：
林健
申请人：
申请人地址：
300450 天津市滨海新区天津华苑产业区海泰西路18号北2-204工业孵化-3-8
IPC主分类号：
G06F1122
IPC分类号：
代理机构：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人：
李飞
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-28 | 公开 | 公开 |
| 2021-10-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 11/22 申请日:20210629 |
| 2022-09-09 | 授权 | 授权 |