放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810099074.X

申请日：

2008-05-16

公开(公告)号：

CN101308327B

公开(公告)日：

2008-11-19

发明(设计)人：

花村政晓内池千浩饭岛孝浩滨田谦一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7028

IPC分类号：

G03F700 G02B300

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

庞立志;孙秀武

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-01-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-11-19	公开	公开
2013-01-02	授权	授权

共 50 条

[1]

放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜、以及它们的制备方法 [P].

滨田谦一 ;

花村政晓 ;

饭岛孝浩 .

中国专利 :CN101256360B ,2008-09-03

[2]

放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及微透镜的形成 [P].

米田英司 ;

滨田谦一 ;

志保浩司 .

中国专利 :CN1945432A ,2007-04-11

[3]

放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜的形成 [P].

米田英司 ;

滨田谦一 ;

志保浩司 .

中国专利 :CN101154041B ,2008-04-02

[4]

放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及微透镜以及它们的制备方法 [P].

花村政晓 ;

内池千浩 ;

三谷浩司 ;

饭岛孝浩 ;

滨田谦一 ;

长屋胜也 ;

大泽友希 .

中国专利 :CN101226329B ,2008-07-23

[5]

放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法 [P].

西信弘 ;

米田英司 ;

饭田雅史 ;

丸山拓之 ;

滨田谦一 .

中国专利 :CN101859067A ,2010-10-13

[6]

射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的形成方法 [P].

花村政晓 ;

高本英司 ;

蓑轮贵树 .

中国专利 :CN101206401A ,2008-06-25

[7]

放射线敏感性树脂组合物、以及层间绝缘膜和微透镜及它们的制备方法 [P].

内池千浩 ;

花村政晓 ;

滨田谦一 ;

饭岛孝浩 .

中国专利 :CN101359174A ,2009-02-04

[8]

放射线敏感性树脂组合物以及层间绝缘膜的形成方法 [P].

菊池克浩 ;

臼井健太朗 ;

柴崎正和 ;

越智贵志 ;

加藤龙郎 ;

滨田谦一 ;

荒井雅史 ;

M.村田 ;

高濑英明 .

中国专利 :CN102549496A ,2012-07-04

[9]

正型放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法 [P].

村田惠 ;

荒井雅史 ;

花村政晓 .

中国专利 :CN102053497A ,2011-05-11

[10]

感放射线性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜及其形成方法 [P].

花村政晓 ;

吉田伸 ;

饭岛孝浩 .

中国专利 :CN101324755A ,2008-12-17

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