放射线敏感性树脂组合物以及层间绝缘膜的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080046633.6

申请日：

2010-10-14

公开(公告)号：

CN102549496A

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

菊池克浩臼井健太朗柴崎正和越智贵志加藤龙郎滨田谦一荒井雅史 M.村田高濑英明

申请人：

申请人地址：

日本大阪府大阪市

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F7023

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

孙秀武;高旭轶

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101345522077 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2010800466336 申请日:20101014
2014-11-26	授权	授权
2012-07-04	公开	公开

共 50 条

[1]

放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法 [P].

西信弘 ;

米田英司 ;

饭田雅史 ;

丸山拓之 ;

滨田谦一 .

中国专利 :CN101859067A ,2010-10-13

[2]

放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜的形成 [P].

米田英司 ;

滨田谦一 ;

志保浩司 .

中国专利 :CN101154041B ,2008-04-02

[3]

正型放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法 [P].

村田惠 ;

荒井雅史 ;

花村政晓 .

中国专利 :CN102053497A ,2011-05-11

[4]

放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法 [P].

大沼友希 ;

荒井雅史 ;

松冈比登美 ;

花村政晓 .

中国专利 :CN102087473A ,2011-06-08

[5]

放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及微透镜的形成 [P].

米田英司 ;

滨田谦一 ;

志保浩司 .

中国专利 :CN1945432A ,2007-04-11

[6]

正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法 [P].

一户大吾 ;

花村政晓 .

中国专利 :CN102043339A ,2011-05-04

[7]

正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法 [P].

一户大吾 ;

花村政晓 .

中国专利 :CN102156386A ,2011-08-17

[8]

放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的形成方法 [P].

花村政晓 ;

内池千浩 ;

饭岛孝浩 ;

滨田谦一 .

中国专利 :CN101308327B ,2008-11-19

[9]

放射线敏感性组合物、保护膜、层间绝缘膜以及它们的形成方法 [P].

上田二朗 ;

高濑英明 ;

藤冈昌泰 ;

露木亮太 .

中国专利 :CN101907828B ,2010-12-08

[10]

正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法 [P].

一户大吾 .

中国专利 :CN102221782A ,2011-10-19

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