放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010576964.2

申请日：

2010-12-02

公开(公告)号：

CN102087473A

公开(公告)日：

2011-06-08

发明(设计)人：

大沼友希荒井雅史松冈比登美花村政晓

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

G03F7012

IPC分类号：

G03F7039 G03F700 G03F7004

代理机构：

北京三幸商标专利事务所 11216

代理人：

刘激扬

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-16	授权	授权
2012-10-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/012 专利申请号:2010105769642 申请日:20101202 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101331310000
2011-06-08	公开	公开

共 50 条

[1]

正型放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法 [P].

村田惠 ;

荒井雅史 ;

花村政晓 .

中国专利 :CN102053497A ,2011-05-11

[2]

放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法 [P].

西信弘 ;

米田英司 ;

饭田雅史 ;

丸山拓之 ;

滨田谦一 .

中国专利 :CN101859067A ,2010-10-13

[3]

放射线敏感性树脂组合物以及层间绝缘膜的形成方法 [P].

菊池克浩 ;

臼井健太朗 ;

柴崎正和 ;

越智贵志 ;

加藤龙郎 ;

滨田谦一 ;

荒井雅史 ;

M.村田 ;

高濑英明 .

中国专利 :CN102549496A ,2012-07-04

[4]

放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及微透镜的形成 [P].

米田英司 ;

滨田谦一 ;

志保浩司 .

中国专利 :CN1945432A ,2007-04-11

[5]

放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜的形成 [P].

米田英司 ;

滨田谦一 ;

志保浩司 .

中国专利 :CN101154041B ,2008-04-02

[6]

正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法 [P].

一户大吾 ;

花村政晓 .

中国专利 :CN102043339A ,2011-05-04

[7]

放射线敏感性树脂组合物 [P].

芹泽龙一 ;

松村信司 ;

榊原宏和 .

中国专利 :CN102804065B ,2012-11-28

[8]

正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法 [P].

一户大吾 ;

花村政晓 .

中国专利 :CN102156386A ,2011-08-17

[9]

正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法 [P].

一户大吾 .

中国专利 :CN102213918B ,2011-10-12

[10]

正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法 [P].

一户大吾 .

中国专利 :CN102221782A ,2011-10-19

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