石墨烯晶圆的生长方法及装置

被引：0

申请号：

CN202011529709.2

申请日：

2020-12-22

公开(公告)号：

CN114657531A

公开(公告)日：

2022-06-24

发明(设计)人：

杜音阎睿唐际琳王雅妮

申请人：

申请人地址：

100095 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼

IPC主分类号：

C23C1626

IPC分类号：

C23C16455 C23C16458

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

李华;崔香丹

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-24	公开	公开
2022-07-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/26 申请日:20201222

共 50 条

[1]

石墨烯的生长方法 [P].

罗军 ;

亨利·H·阿达姆松 ;

王桂磊 ;

赵超 .

中国专利 :CN105990091B ,2016-10-05

[2]

石墨烯的生长方法 [P].

王浩敏 ;

唐述杰 ;

卢光远 ;

吴天如 ;

姜达 ;

丁古巧 ;

张学富 ;

谢红 ;

谢晓明 ;

江绵恒 .

中国专利 :CN104562195B ,2015-04-29

[3]

基于石墨烯的LED外延生长方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN107452841A ,2017-12-08

[4]

一种石墨烯晶圆的转移方法、石墨烯晶圆及鼓泡体系 [P].

彭海琳 ;

刘忠范 ;

阎睿 ;

唐际琳 ;

杜音 .

中国专利 :CN111232964B ,2020-06-05

[5]

一种石墨烯晶圆的转移方法 [P].

彭海琳 ;

刘忠范 ;

阎睿 ;

邓兵 ;

唐际琳 ;

杜音 ;

蔡阿利 .

中国专利 :CN110581063A ,2019-12-17

[6]

石墨烯的生长方法和石墨烯装置的制造方法 [P].

牧英之 .

日本专利 :CN120731188A ,2025-09-30

[7]

基于石墨烯的LED外延生长方法 [P].

徐平 ;

龚彬彬 ;

廖富达 ;

周佐华 ;

黄胜蓝 .

中国专利 :CN110246943A ,2019-09-17

[8]

竖直石墨烯及其生长方法 [P].

张锦 ;

许世臣 ;

孙阳勇 ;

高振飞 ;

罗家俊 .

中国专利 :CN110950329A ,2020-04-03

[9]

石墨烯的生长方法、石墨烯层及半导体器件 [P].

罗军 ;

赵超 .

中国专利 :CN105845543A ,2016-08-10

[10]

一种基于多层及大面积石墨烯生长用石英舟的石墨烯生长方法 [P].

邱锋 ;

李波 ;

王茺 .

中国专利 :CN108862253A ,2018-11-23

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