一种MEMS的微型压电驱动器

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专利类型
实用新型
申请号
CN200420007142.2
申请日
2004-03-18
公开(公告)号
CN2689586Y
公开(公告)日
2005-03-30
发明(设计)人
方华军 刘理天 任天令
申请人
申请人地址
100084北京市100084-82信箱
IPC主分类号
H02N202
IPC分类号
代理机构
北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人
李光松
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[41]
一种双向压电旋转驱动器 [P]. 
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宋正义 ;
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