硅靶材表面处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210183787.0

申请日：

2012-06-05

公开(公告)号：

CN102816994A

公开(公告)日：

2012-12-12

发明(设计)人：

黄建尧孙明义余建辉

申请人：

申请人地址：

中国台湾高雄市冈山区中山北路140号8楼之4

IPC主分类号：

C23C1414

IPC分类号：

C23C1434 B24B722

代理机构：

北京汇信合知识产权代理有限公司 11335

代理人：

翟国明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-12	公开	公开
2014-12-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101708598595 IPC(主分类):C23C 14/14 专利申请号:2012101837870 申请公布日:20121212
2013-01-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101389919979 IPC(主分类):C23C 14/14 专利申请号:2012101837870 申请日:20120605

共 50 条

[1]

靶材组件的表面处理方法和工具 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李健成 .

中国专利 :CN106378493A ,2017-02-08

[2]

一种铜靶材的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

刘胜秀 ;

周伟君 ;

王青松 .

中国专利 :CN121137542A ,2025-12-16

[3]

一种铝靶材的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王锦 ;

王学泽 .

中国专利 :CN118513780A ,2024-08-20

[4]

一种高硬度靶材的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

钱百峰 ;

周建军 .

中国专利 :CN111300157A ,2020-06-19

[5]

一种铜镍硅合金带材表面处理溶液及铜镍硅合金带材表面处理方法 [P].

罗宏伟 ;

王生 ;

唐松平 ;

黄贤兵 ;

殷瑞 ;

冯丽婷 .

中国专利 :CN115613043A ,2023-01-17

[6]

一种针对成品靶材的表面处理方法 [P].

谭雪清 ;

岳晓聪 ;

黄宇彬 ;

童培云 ;

罗庆鸿 .

中国专利 :CN115139208A ,2022-10-04

[7]

一种铝靶材和铜背板靶材组件中反溅射面的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

朱雪明 ;

王青松 ;

许国 .

中国专利 :CN120174316A ,2025-06-20

[8]

一种钛靶材和铜背板靶材组件中反溅射面的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

朱雪明 ;

王青松 ;

许国 .

中国专利 :CN120210749A ,2025-06-27

[9]

鞋材表面处理方法 [P].

王红卫 ;

常鹏 .

中国专利 :CN102296283A ,2011-12-28

[10]

一种SiO<sub>2</sub>靶材及其表面处理方法 [P].

谭雪清 ;

黄宇彬 ;

童培云 .

中国专利 :CN118288113A ,2024-07-05

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