一种用于MOCVD反应腔的气体流量控制装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120368151.4

申请日：

2011-09-29

公开(公告)号：

CN202359196U

公开(公告)日：

2012-08-01

发明(设计)人：

魏强

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区泰华路188号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1618 C23C1652

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

吴世华;冯志云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-08-01	授权	授权
2019-04-09	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/455 变更事项:专利权人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区泰华路188号
2021-10-22	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20110929 授权公告日:20120801

共 50 条

[1]

一种气体流量控制装置 [P].

刘建胜 ;

朱喜 ;

康鹏飞 .

中国专利 :CN221004158U ,2024-05-24

[2]

一种气体流量控制装置及其气体流量控制方法 [P].

魏强 .

中国专利 :CN108231620A ,2018-06-29

[3]

一种反应池流量控制装置 [P].

许开华 .

中国专利 :CN208302725U ,2019-01-01

[4]

一种多气体切换的流量控制装置 [P].

邹镧 ;

沈亚芹 ;

王旭辉 .

中国专利 :CN221881167U ,2024-10-22

[5]

一种气体流量控制装置 [P].

沈恒文 ;

吉双平 ;

刘彤辉 ;

金修领 ;

郝小峰 ;

王伟康 ;

高月华 ;

程宣林 .

中国专利 :CN218240736U ,2023-01-06

[6]

一种计量用气体流量控制装置 [P].

冯波 ;

王猛 ;

柴树锋 ;

张弛 ;

陈振军 ;

杨铭斯 ;

胡宝龙 ;

何成 ;

赵华楠 ;

李生祥 ;

孙兴邦 .

中国专利 :CN222914098U ,2025-05-27

[7]

多区域气体流量控制装置 [P].

钟尚骅 .

中国专利 :CN203909634U ,2014-10-29

[8]

火焰钎焊用气体流量控制装置 [P].

娄江 ;

汪锡云 ;

李杭杭 ;

赵洲灏 .

中国专利 :CN212408669U ,2021-01-26

[9]

一种流量控制装置 [P].

何绿泉 .

中国专利 :CN204331480U ,2015-05-13

[10]

一种流量控制装置 [P].

吴忠良 .

中国专利 :CN220416292U ,2024-01-30

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