一种多气体切换的流量控制装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322933854.2

申请日：

2023-10-31

公开(公告)号：

CN221881167U

公开(公告)日：

2024-10-22

发明(设计)人：

邹镧沈亚芹王旭辉

申请人：

无锡智量安全技术研究院有限公司

申请人地址：

214124 江苏省无锡市蠡园开发区标准写字楼A2第二层

IPC主分类号：

F17D3/01

IPC分类号：

F17D1/02

代理机构：

广东贝德知识产权代理有限公司 44985

代理人：

方秀珍

法律状态：

授权

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种气体流量控制装置 [P].

刘建胜 ;

朱喜 ;

康鹏飞 .

中国专利 :CN221004158U ,2024-05-24

[2]

多区域气体流量控制装置 [P].

钟尚骅 .

中国专利 :CN203909634U ,2014-10-29

[3]

一种气体流量控制装置及其气体流量控制方法 [P].

魏强 .

中国专利 :CN108231620A ,2018-06-29

[4]

一种气体流量控制装置 [P].

沈恒文 ;

吉双平 ;

刘彤辉 ;

金修领 ;

郝小峰 ;

王伟康 ;

高月华 ;

程宣林 .

中国专利 :CN218240736U ,2023-01-06

[5]

一种计量用气体流量控制装置 [P].

冯波 ;

王猛 ;

柴树锋 ;

张弛 ;

陈振军 ;

杨铭斯 ;

胡宝龙 ;

何成 ;

赵华楠 ;

李生祥 ;

孙兴邦 .

中国专利 :CN222914098U ,2025-05-27

[6]

火焰钎焊用气体流量控制装置 [P].

娄江 ;

汪锡云 ;

李杭杭 ;

赵洲灏 .

中国专利 :CN212408669U ,2021-01-26

[7]

一种用于MOCVD反应腔的气体流量控制装置 [P].

魏强 .

中国专利 :CN202359196U ,2012-08-01

[8]

一种流量控制装置 [P].

何绿泉 .

中国专利 :CN204331480U ,2015-05-13

[9]

一种流量控制装置 [P].

吴忠良 .

中国专利 :CN220416292U ,2024-01-30

[10]

气体流量控制装置 [P].

张智博 ;

崔欢 ;

毕雪林 .

中国专利 :CN202522931U ,2012-11-07

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