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基板固定单元、基板处理装置和方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111520654.3
申请日：
2021-12-13
公开(公告)号：
CN114220760A
公开(公告)日：
2022-03-22
发明(设计)人：
李德荣
申请人：
申请人地址：
430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
B25B1100
G01N1904
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
熊恒定
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-22 | 公开 | 公开 |
| 2022-04-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20211213 |