等离子清洗设备

被引：0

申请号：

CN202210654658.9

申请日：

2022-06-10

公开(公告)号：

CN115148573A

公开(公告)日：

2022-10-04

发明(设计)人：

叶贤斌李文强杨建新朱霆盛辉周学慧张凯

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区粤海街道麻岭社区科研路9号比克科技大厦1101-G1

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L2167 B08B700

代理机构：

深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542

代理人：

王韬

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-10-04	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子清洗设备 [P].

郑少龙 ;

夏旭敏 ;

唐毅威 ;

林顺威 ;

陈龙仁 .

中国专利 :CN120133234A ,2025-06-13

[2]

等离子清洗设备 [P].

孔令民 ;

钟军勇 ;

谢育林 ;

朱霆 ;

贺岳 ;

钟恒 ;

邵文林 ;

张凯 .

中国专利 :CN112820614A ,2021-05-18

[3]

等离子清洗设备 [P].

徐大林 ;

郑载润 ;

侯智 ;

刘祖宏 ;

丁欣 ;

张巍 .

中国专利 :CN202316456U ,2012-07-11

[4]

等离子清洗设备 [P].

徐键 ;

孟祥兴 ;

张博 .

中国专利 :CN222535738U ,2025-02-28

[5]

等离子清洗设备 [P].

罗君 ;

叶贤斌 ;

李文强 ;

杨建新 ;

朱霆 ;

杨勇 ;

周学慧 .

中国专利 :CN119349133A ,2025-01-24

[6]

等离子清洗设备 [P].

高友浪 ;

张翔 .

中国专利 :CN307130247S ,2022-02-25

[7]

等离子清洗设备 [P].

潘春华 ;

高辉武 .

中国专利 :CN308685611S ,2024-06-14

[8]

等离子清洗设备 [P].

梁明刚 .

中国专利 :CN203470419U ,2014-03-12

[9]

等离子清洗腔和清洗设备 [P].

何正鸿 ;

高滢滢 ;

夏锦枫 ;

张成 .

中国专利 :CN223401579U ,2025-09-30

[10]

电离等离子装置、等离子清洗设备及等离子电离方法 [P].

莫贵富 ;

徐廷华 ;

陈俊桂 .

中国专利 :CN118321272A ,2024-07-12

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