等离子清洗腔和清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422781071.1

申请日：

2024-11-13

公开(公告)号：

CN223401579U

公开(公告)日：

2025-09-30

发明(设计)人：

何正鸿高滢滢夏锦枫张成

申请人：

甬矽半导体（宁波）有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园滨海大道60号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/683 H01J37/32 H01J37/20 B08B13/00 B08B7/00

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

张洋

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省宁波市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-30	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子清洗设备 [P].

徐键 ;

孟祥兴 ;

张博 .

中国专利 :CN222535738U ,2025-02-28

[2]

等离子清洗设备 [P].

郑少龙 ;

夏旭敏 ;

唐毅威 ;

林顺威 ;

陈龙仁 .

中国专利 :CN120133234A ,2025-06-13

[3]

等离子清洗设备 [P].

孔令民 ;

钟军勇 ;

谢育林 ;

朱霆 ;

贺岳 ;

钟恒 ;

邵文林 ;

张凯 .

中国专利 :CN112820614A ,2021-05-18

[4]

等离子清洗设备 [P].

徐大林 ;

郑载润 ;

侯智 ;

刘祖宏 ;

丁欣 ;

张巍 .

中国专利 :CN202316456U ,2012-07-11

[5]

等离子清洗设备 [P].

罗君 ;

叶贤斌 ;

李文强 ;

杨建新 ;

朱霆 ;

杨勇 ;

周学慧 .

中国专利 :CN119349133A ,2025-01-24

[6]

等离子清洗设备 [P].

高友浪 ;

张翔 .

中国专利 :CN307130247S ,2022-02-25

[7]

等离子清洗设备 [P].

叶贤斌 ;

李文强 ;

杨建新 ;

朱霆 ;

盛辉 ;

周学慧 ;

张凯 .

中国专利 :CN115148573A ,2022-10-04

[8]

等离子清洗设备 [P].

潘春华 ;

高辉武 .

中国专利 :CN308685611S ,2024-06-14

[9]

等离子清洗设备 [P].

梁明刚 .

中国专利 :CN203470419U ,2014-03-12

[10]

等离子喷头及半导体用大气等离子清洗设备 [P].

张曹 .

中国专利 :CN113658892A ,2021-11-16

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