绒面硼掺杂氧化锌基透明导电薄膜的生长方法和生长装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510604391.2

申请日：

2015-09-21

公开(公告)号：

CN105304752B

公开(公告)日：

2016-02-03

发明(设计)人：

徐小科吴永庆李效民高相东

申请人：

申请人地址：

200050 上海市长宁区定西路1295号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

代理机构：

上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261

代理人：

曹芳玲;郑优丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101649091034 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2015106043912 申请日:20150921
2016-02-03	公开	公开
2020-04-03	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 31/18 登记生效日:20200316 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院上海硅酸盐研究所变更后权利人:中国科学院上海硅酸盐研究所苏州研究院变更事项:地址变更前权利人:200050 上海市长宁区定西路1295号变更后权利人:215400 江苏省苏州市太仓市良辅路6号
2017-03-08	授权	授权

共 50 条

[1]

铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法 [P].

姜来新 ;

牟海川 ;

毛启明 ;

宋佳 .

中国专利 :CN102021535A ,2011-04-20

[2]

绒面氧化锌透明导电薄膜及其制备方法 [P].

张弓 ;

庄大明 ;

付恩刚 ;

方玲 ;

王超 ;

赵方红 .

中国专利 :CN1460728A ,2003-12-10

[3]

一种应力释放的掺杂氧化锌导电薄膜的生长方法 [P].

王波 ;

郝锐 ;

叶国光 ;

李方芳 .

中国专利 :CN104505336A ,2015-04-08

[4]

一种绒面掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

黄素梅 ;

朱红兵 ;

孙卓 .

中国专利 :CN101692357A ,2010-04-07

[5]

生长氧化锌薄膜材料的方法 [P].

王振华 ;

刘祥林 ;

杨少延 ;

杨安丽 .

中国专利 :CN101831693A ,2010-09-15

[6]

铪掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

胡习光 ;

秦国强 ;

常金永 ;

张志祥 .

中国专利 :CN104060232A ,2014-09-24

[7]

氟掺杂氧化锌透明导电膜玻璃的生产方法 [P].

石丽芬 ;

彭寿 ;

金良茂 ;

王友乐 ;

甘治平 ;

王东 ;

陈凯 ;

张家林 ;

单传丽 ;

邹上荣 ;

陈琼 .

中国专利 :CN102249551A ,2011-11-23

[8]

一种直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法 [P].

黄茜 ;

张晓丹 ;

刘阳 ;

魏长春 ;

赵颖 .

中国专利 :CN102242345A ,2011-11-16

[9]

一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

冯泉妤 ;

黄金华 ;

张宇龙 ;

杨晔 ;

宋伟杰 .

中国专利 :CN102220562B ,2011-10-19

[10]

氟和钼共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

黄仕华 ;

丁月珂 ;

陆肖励 ;

陈达 .

中国专利 :CN109504941A ,2019-03-22

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