生长氧化锌薄膜材料的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910079800.6

申请日：

2009-03-11

公开(公告)号：

CN101831693A

公开(公告)日：

2010-09-15

发明(设计)人：

王振华刘祥林杨少延杨安丽

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区清华东路甲35号

IPC主分类号：

C30B2502

IPC分类号：

C30B2518 C30B2916

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

汤保平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-11-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101012512101 IPC(主分类):C30B 25/02 专利申请号:2009100798006 申请日:20090311
2012-12-26	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101489362732 IPC(主分类):H01L 21/205 专利申请号:2009100798006 申请公布日:20100915
2010-09-15	公开	公开

共 50 条

[1]

利用可协变衬底制备生长氧化锌薄膜材料的方法 [P].

杨少延 ;

陈涌海 ;

李成明 ;

范海波 ;

王占国 .

中国专利 :CN100424825C ,2007-08-15

[2]

一种氧化锌的薄膜生长方法 [P].

倪明堂 ;

赵健州 ;

何立波 ;

吴俊美 .

中国专利 :CN114574961A ,2022-06-03

[3]

纳米有序氧化锌薄膜材料的制备方法 [P].

姚陈忠 ;

李晖 ;

李军 ;

蒋洪石 ;

弓巧娟 .

中国专利 :CN103397326A ,2013-11-20

[4]

利用氧化锌缓冲层生长单晶氧化锌薄膜的方法 [P].

沈文娟 ;

曾一平 ;

王俊 .

中国专利 :CN1840747A ,2006-10-04

[5]

一种多晶氧化锌薄膜材料的制备方法 [P].

张道礼 ;

吴启明 ;

张建兵 .

中国专利 :CN1932086A ,2007-03-21

[6]

一种氧化镁衬底生长氧化锌薄膜的方法 [P].

王惠琼 ;

李东华 ;

周华 ;

康俊勇 .

中国专利 :CN105742158A ,2016-07-06

[7]

用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法 [P].

刘益春 ;

李炳生 ;

马剑钢 ;

吕有明 ;

申德振 .

中国专利 :CN1153304C ,2003-03-05

[8]

氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法 [P].

朴洙昊 ;

朴钟世 ;

刘泳祚 ;

李柱永 ;

金序炫 ;

尹根尚 ;

金荣云 ;

申亨秀 ;

尹承镐 ;

李相度 ;

李相益 ;

任相俊 .

中国专利 :CN103710680A ,2014-04-09

[9]

用n型氧化锌制备p型氧化锌薄膜的方法 [P].

赵东旭 ;

曹萍 ;

吕有明 ;

申德振 ;

李炳辉 .

中国专利 :CN101225549A ,2008-07-23

[10]

绒面硼掺杂氧化锌基透明导电薄膜的生长方法和生长装置 [P].

徐小科 ;

吴永庆 ;

李效民 ;

高相东 .

中国专利 :CN105304752B ,2016-02-03

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