III族氮化物层叠体的制造方法、检查方法、以及III族氮化物层叠体

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201780080600.5
申请日
2017-11-09
公开(公告)号
CN110191979B
公开(公告)日
2019-08-30
发明(设计)人
堀切文正 三岛友义
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
C30B2938
IPC分类号
C23C1634 C23C1652 C30B2520 H01L21205 G01N2164 G01N2188 H01L2120
代理机构
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人
刘新宇;李茂家
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
III族氮化物层叠体的制造方法、检查方法、以及III族氮化物层叠体 [P]. 
堀切文正 ;
三岛友义 .
中国专利 :CN113684539A ,2021-11-23
[2]
III族氮化物层叠体 [P]. 
田中丈士 ;
矶野僚多 .
中国专利 :CN112133745A ,2020-12-25
[3]
III族氮化物层叠体 [P]. 
矶野僚多 ;
田中丈士 .
中国专利 :CN112133746A ,2020-12-25
[4]
III族氮化物层叠体及III族氮化物发光元件 [P]. 
小幡俊之 .
中国专利 :CN109075226B ,2018-12-21
[5]
III族氮化物层叠物、半导体元件和III族氮化物层叠物的制造方法 [P]. 
藤仓序章 ;
今野泰一郎 ;
木村健司 ;
后藤修 .
中国专利 :CN113921608A ,2022-01-11
[6]
III族氮化物层叠物、半导体元件和III族氮化物层叠物的制造方法 [P]. 
藤仓序章 ;
今野泰一郎 ;
木村健司 ;
后藤修 .
日本专利 :CN113921608B ,2025-11-25
[7]
氮化铝基板及III族氮化物层叠体 [P]. 
弘中启一郎 ;
木下亨 .
中国专利 :CN104583470A ,2015-04-29
[8]
氮化铝基板及III族氮化物层叠体 [P]. 
弘中启一郎 ;
木下亨 .
中国专利 :CN110589757A ,2019-12-20
[9]
III族氮化物晶体、III族氮化物基板及III族氮化物晶体的制造方法 [P]. 
森勇介 ;
吉村政志 ;
今西正幸 ;
北本启 ;
隅智亮 ;
泷野淳一 ;
冈山芳央 .
中国专利 :CN113802185A ,2021-12-17
[10]
III族氮化物晶体、III族氮化物基板及III族氮化物晶体的制造方法 [P]. 
森勇介 ;
吉村政志 ;
今西正幸 ;
北本启 ;
隅智亮 ;
泷野淳一 ;
冈山芳央 .
中国专利 :CN113808926A ,2021-12-17