一种SOI SiGe BiCMOS集成器件及制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210244461.4
申请日
2012-07-16
公开(公告)号
CN102800681B
公开(公告)日
2012-11-28
发明(设计)人
王斌 胡辉勇 张鹤鸣 周春宇 宋建军 王海栋 宣荣喜 郝跃
申请人
申请人地址
710065 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
IPC主分类号
H01L2712
IPC分类号
H01L2184
代理机构
西安利泽明知识产权代理有限公司 61222
代理人
段国刚
法律状态
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共 50 条
[1]
一种SiGe基应变BiCMOS集成器件及制备方法 [P]. 
胡辉勇 ;
张鹤鸣 ;
宋建军 ;
周春宇 ;
舒斌 ;
宣荣喜 ;
戴显英 ;
郝跃 .
中国专利 :CN102751288A ,2012-10-24
[2]
一种SOI应变SiGe BiCMOS集成器件及制备方法 [P]. 
胡辉勇 ;
宋建军 ;
李妤晨 ;
张鹤鸣 ;
宣荣喜 ;
舒斌 ;
戴显英 ;
郝跃 .
中国专利 :CN102723337A ,2012-10-10
[3]
一种应变SiGe回型沟道SOI BiCMOS集成器件及制备方法 [P]. 
宋建军 ;
胡辉勇 ;
周春宇 ;
吕懿 ;
张鹤鸣 ;
宣荣喜 ;
舒斌 ;
郝跃 .
中国专利 :CN102738173A ,2012-10-17
[4]
一种基于SOI衬底的应变SiGe BiCMOS集成器件及制备方法 [P]. 
宋建军 ;
张鹤鸣 ;
吕懿 ;
李妤晨 ;
胡辉勇 ;
宣荣喜 ;
舒斌 ;
郝跃 .
中国专利 :CN102751278B ,2012-10-24
[5]
一种双多晶应变SiGe SOI BiCMOS集成器件及制备方法 [P]. 
张鹤鸣 ;
周春宇 ;
宋建军 ;
宣荣喜 ;
胡辉勇 ;
舒斌 ;
戴显英 ;
郝跃 .
中国专利 :CN102723338A ,2012-10-10
[6]
一种基于平面应变SiGe HBT器件的BiCMOS集成器件及制备方法 [P]. 
胡辉勇 ;
张鹤鸣 ;
宋建军 ;
王海栋 ;
舒斌 ;
宣荣喜 ;
戴显英 ;
郝跃 .
中国专利 :CN102738149A ,2012-10-17
[7]
一种基于SOI SiGe HBT的应变Si BiCMOS集成器件及制备方法 [P]. 
张鹤鸣 ;
王海栋 ;
胡辉勇 ;
宋建军 ;
宣荣喜 ;
舒斌 ;
戴显英 ;
郝跃 .
中国专利 :CN102916015A ,2013-02-06
[8]
一种基于SOI衬底的双应变BiCMOS集成器件及制备方法 [P]. 
张鹤鸣 ;
周春宇 ;
宋建军 ;
舒斌 ;
胡辉勇 ;
宣荣喜 ;
戴显英 ;
郝跃 .
中国专利 :CN102810544B ,2012-12-05
[9]
一种应变SiGe回型沟道BiCMOS集成器件及制备方法 [P]. 
胡辉勇 ;
宋建军 ;
宣荣喜 ;
舒斌 ;
张鹤鸣 ;
李妤晨 ;
吕懿 ;
郝跃 .
中国专利 :CN102751280A ,2012-10-24
[10]
SOI BJT应变SiGe回型沟道BiCMOS集成器件及制备方法 [P]. 
宋建军 ;
胡辉勇 ;
舒斌 ;
张鹤鸣 ;
宣荣喜 ;
李妤晨 ;
吕懿 ;
郝跃 .
中国专利 :CN102723339A ,2012-10-10