一种电子束轰击炉电源及其可稳压的均压控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810084522.2

申请日：

2018-01-29

公开(公告)号：

CN108322062A

公开(公告)日：

2018-07-24

发明(设计)人：

姬军鹏张兴霞曾光李金刚

申请人：

申请人地址：

710048 陕西省西安市金花南路5号

IPC主分类号：

H02M700

IPC分类号：

H02M7217

代理机构：

西安弘理专利事务所 61214

代理人：

罗笛

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-24	公开	公开
2020-07-28	授权	授权
2018-08-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H02M 7/00 申请日:20180129

共 50 条

[1]

电子束轰击炉电子束发生系统电源控制方法及电源装置 [P].

韦寿祺 ;

莫金海 .

中国专利 :CN101179878A ,2008-05-14

[2]

电子束轰击炉电子束发生系统电源装置 [P].

韦寿祺 ;

莫金海 .

中国专利 :CN201123151Y ,2008-09-24

[3]

电子束轰击炉电子光路系统电源控制方法及电源装置 [P].

韦寿祺 ;

莫金海 ;

李海标 .

中国专利 :CN101237727A ,2008-08-06

[4]

电子束轰击炉电子光路系统电源装置 [P].

韦寿祺 ;

莫金海 ;

李海标 .

中国专利 :CN201138876Y ,2008-10-22

[5]

一种电子束轰击炉专用电子枪 [P].

韦寿祺 ;

刘志杰 ;

苏振源 ;

陈叙 ;

黎明 ;

李雪娇 ;

崔九喜 .

中国专利 :CN203562389U ,2014-04-23

[6]

一种电子束轰击炉专用电子枪 [P].

韦寿祺 ;

刘志杰 ;

苏振源 ;

陈叙 ;

黎明 ;

李雪娇 ;

崔九喜 .

中国专利 :CN103578898B ,2014-02-12

[7]

一种电子束轰击炉多晶硅加料装置 [P].

张海霞 ;

田鹏 ;

车永军 .

中国专利 :CN202529853U ,2012-11-14

[8]

一种电子束光斑及电子束束流的控制方法 [P].

苗丁 .

中国专利 :CN109599311A ,2019-04-09

[9]

一种电子束低频轰击去除硅料中氧的方法 [P].

郭校亮 ;

王登科 ;

姜大川 ;

安广野 ;

谭毅 .

中国专利 :CN104649275A ,2015-05-27

[10]

一种实现小束斑高压脉冲电子束轰击的装置 [P].

许海鹰 ;

左从进 ;

巩水利 ;

付鹏飞 ;

张伟 ;

韩瑞清 ;

韩鹏 ;

陆幼青 .

中国专利 :CN103849716B ,2014-06-11

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