射频离子源高压控制装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921918919.3

申请日：

2019-11-08

公开(公告)号：

CN211267225U

公开(公告)日：

2020-08-14

发明(设计)人：

李树瑜王一梅

申请人：

申请人地址：

300000 天津市滨海新区滨海科技园日新道196号研发楼D2一层

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-14	授权	授权

共 50 条

[1]

射频离子源 [P].

M·L·朗福德 ;

S·N·凯恩斯 ;

A·J·马 ;

I·B·普利桑茨 .

中国专利 :CN1529898A ,2004-09-15

[2]

射频离子源 [P].

M·L·兰富德 ;

J·F·J·托德 .

中国专利 :CN1061781C ,1998-03-04

[3]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549B ,2024-02-20

[4]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549A ,2022-04-08

[5]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 ;

吴秋生 ;

曾文华 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN306231123S ,2020-12-15

[6]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

吴秋生 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN307776281S ,2023-01-06

[7]

射频离子源 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN215771057U ,2022-02-08

[8]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

郑培鑫 ;

吴秋生 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN221264042U ,2024-07-02

[9]

射频离子源系统及离子源设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 ;

曾文华 ;

刘运鸿 ;

吴秋生 .

中国专利 :CN210866112U ,2020-06-26

[10]

射频离子源设备 [P].

张洪国 ;

夏益伟 ;

唐继远 ;

徐冉 ;

张浩宇 ;

王旭敏 .

中国专利 :CN308586236S ,2024-04-16

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