纳米压印弹性模板的制作方法、纳米压印弹性模板及组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811476313.9

申请日：

2018-12-04

公开(公告)号：

CN109656098A

公开(公告)日：

2019-04-19

发明(设计)人：

童美魁段晓东

申请人：

申请人地址：

201206 上海市浦东新区自由贸易试验区金穗路2218号1楼

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

代理机构：

上海波拓知识产权代理有限公司 31264

代理人：

李萌

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20181204
2019-04-19	公开	公开

共 50 条

[1]

纳米压印弹性模板及纳米压印组件 [P].

童美魁 ;

段晓东 .

中国专利 :CN209281147U ,2019-08-20

[2]

纳米压印模板的制作方法及纳米压印模板 [P].

陈黎暄 ;

李泳锐 .

中国专利 :CN105700292A ,2016-06-22

[3]

纳米压印模板及制作方法 [P].

徐乃涛 ;

孙其梁 ;

程进 ;

李宋泽 .

中国专利 :CN110456611A ,2019-11-15

[4]

纳米压印模板、纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

侯俊 ;

李冬泽 ;

李佳育 .

中国专利 :CN109085738A ,2018-12-25

[5]

基于弹性模板的微纳米热压印设备 [P].

曾峻 .

中国专利 :CN209813364U ,2019-12-20

[6]

纳米压印复合模板 [P].

史晓华 ;

冀然 .

中国专利 :CN203025473U ,2013-06-26

[7]

纳米压印模板 [P].

尹广春 ;

A.克雷伯斯 ;

韩源 ;

罗龙 .

中国专利 :CN213601033U ,2021-07-02

[8]

纳米压印复合模板 [P].

罗刚 .

中国专利 :CN216449891U ,2022-05-06

[9]

纳米压印模板、制备方法及采用其的纳米压印设备 [P].

田遵义 ;

陈宗镁 ;

杨海波 ;

谈浩森 .

中国专利 :CN121187069A ,2025-12-23

[10]

纳米压印复合模板、组件及系统 [P].

李大元 ;

刘超 ;

刘泽 .

中国专利 :CN117492322A ,2024-02-02

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