纳米压印弹性模板及纳米压印组件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201822028250.2

申请日：

2018-12-04

公开(公告)号：

CN209281147U

公开(公告)日：

2019-08-20

发明(设计)人：

童美魁段晓东

申请人：

申请人地址：

201206 上海市浦东新区自由贸易试验区金穗路2218号1楼

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

代理机构：

上海波拓知识产权代理有限公司 31264

代理人：

李萌

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-20	授权	授权

共 50 条

[1]

纳米压印弹性模板的制作方法、纳米压印弹性模板及组件 [P].

童美魁 ;

段晓东 .

中国专利 :CN109656098A ,2019-04-19

[2]

纳米压印模板、纳米压印装置及纳米压印方法 [P].

侯俊 ;

李冬泽 ;

李佳育 .

中国专利 :CN109085738A ,2018-12-25

[3]

纳米压印复合模板、组件及系统 [P].

李大元 ;

刘超 ;

刘泽 .

中国专利 :CN117492322A ,2024-02-02

[4]

纳米压印方法及纳米压印装置 [P].

路彦辉 ;

谷新 ;

郭康 ;

刘震 ;

张笑 ;

谭伟 .

中国专利 :CN109116679A ,2019-01-01

[5]

纳米压印设备及纳米压印方法 [P].

李洋 ;

谈浩森 ;

陈宗镁 ;

冯光磊 .

中国专利 :CN121115398A ,2025-12-12

[6]

纳米压印复合模板 [P].

史晓华 ;

冀然 .

中国专利 :CN203025473U ,2013-06-26

[7]

纳米压印模板 [P].

尹广春 ;

A.克雷伯斯 ;

韩源 ;

罗龙 .

中国专利 :CN213601033U ,2021-07-02

[8]

纳米压印复合模板 [P].

罗刚 .

中国专利 :CN216449891U ,2022-05-06

[9]

纳米压印设备、纳米压印方法 [P].

赵泽佳 ;

刘楚军 ;

张国庆 ;

徐斌 .

中国专利 :CN118192165A ,2024-06-14

[10]

纳米压印模板、制备方法及采用其的纳米压印设备 [P].

田遵义 ;

陈宗镁 ;

杨海波 ;

谈浩森 .

中国专利 :CN121187069A ,2025-12-23

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