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抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010116537.X
申请日：
2020-02-25
公开(公告)号：
CN111665683A
公开(公告)日：
2020-09-15
发明(设计)人：
朴贤 崔有廷 权纯亨 裵信孝 白载烈
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道龙仁市器兴区贡税路150-20号
IPC主分类号：
G03F7004
IPC分类号：
G03F176
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
杨贝贝;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-09-15 公开 公开
2020-10-13 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20200225
共 50 条
[1]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
权纯亨 ;
朴贤 ;
白载烈 ;
金旼秀 ;
裵信孝 ;
宋大锡 ;
安度源 .
中国专利 :CN113138532A ,2021-07-20
[2]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
白载烈 ;
权纯亨 ;
金旼秀 ;
朴贤 ;
裵信孝 ;
宋大锡 ;
崔有廷 .
中国专利 :CN113204170A ,2021-08-03
[3]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
白载烈 ;
权纯亨 ;
金旼秀 ;
朴贤 ;
裵信孝 ;
宋大锡 ;
崔有廷 .
韩国专利 :CN113204170B ,2025-05-27
[4]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
黄丙奎 ;
林昌模 ;
白载烈 ;
权纯亨 ;
阵和英 ;
金秀贞 ;
李恩受 ;
金圣振 ;
曹雅罗 ;
崔有廷 ;
郑盛宇 .
韩国专利 :CN119668032A ,2025-03-21
[5]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
权纯亨 ;
朴贤 ;
白载烈 ;
金旼秀 ;
裵信孝 ;
宋大锡 ;
安度源 .
韩国专利 :CN113138532B ,2025-05-13
[6]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
权纯亨 ;
金旼秀 ;
金圣振 ;
白载烈 ;
阵和英 ;
南宫烂 ;
朴贤 ;
宋大锡 .
中国专利 :CN115685674A ,2023-02-03
[7]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
曹雅罗 ;
林昌模 ;
白载烈 ;
权纯亨 ;
黄丙奎 ;
阵和英 ;
金秀贞 ;
李恩受 ;
崔有廷 ;
郑盛宇 ;
金圣振 .
韩国专利 :CN119668025A ,2025-03-21
[8]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
权纯亨 ;
金旼秀 ;
金圣振 ;
白载烈 ;
阵和英 ;
南宫烂 ;
朴贤 ;
宋大锡 .
韩国专利 :CN115685674B ,2025-10-10
[9]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
裵信孝 ;
权纯亨 ;
朴贤 ;
白载烈 ;
周范俊 ;
崔有廷 .
中国专利 :CN110579943A ,2019-12-17
[10]
抗蚀剂底层组合物及使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
阵和英 ;
崔有廷 ;
白载烈 ;
权纯亨 ;
金圣振 ;
曺雅罗 .
韩国专利 :CN119472167A ,2025-02-18
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