抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202210845633.7
申请日
2022-07-19
公开(公告)号
CN115685674B
公开(公告)日
2025-10-10
发明(设计)人
崔有廷 权纯亨 金旼秀 金圣振 白载烈 阵和英 南宫烂 朴贤 宋大锡
申请人
三星SDI株式会社
申请人地址
韩国京畿道龙仁市器兴区贡税路150-20号
IPC主分类号
G03F7/004
IPC分类号
G03F7/11 G03F7/00
代理机构
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人
石明;刘芳
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
权纯亨 ;
金旼秀 ;
金圣振 ;
白载烈 ;
阵和英 ;
南宫烂 ;
朴贤 ;
宋大锡 .
中国专利 :CN115685674A ,2023-02-03
[2]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
权纯亨 ;
朴贤 ;
白载烈 ;
金旼秀 ;
裵信孝 ;
宋大锡 ;
安度源 .
中国专利 :CN113138532A ,2021-07-20
[3]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
权纯亨 ;
朴贤 ;
白载烈 ;
金旼秀 ;
裵信孝 ;
宋大锡 ;
安度源 .
韩国专利 :CN113138532B ,2025-05-13
[4]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
白载烈 ;
权纯亨 ;
金旼秀 ;
朴贤 ;
裵信孝 ;
宋大锡 ;
崔有廷 .
中国专利 :CN113204170A ,2021-08-03
[5]
抗蚀剂底层组合物及使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
阵和英 ;
崔有廷 ;
白载烈 ;
权纯亨 ;
金圣振 ;
曺雅罗 .
韩国专利 :CN119472167A ,2025-02-18
[6]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
白载烈 ;
权纯亨 ;
金旼秀 ;
朴贤 ;
裵信孝 ;
宋大锡 ;
崔有廷 .
韩国专利 :CN113204170B ,2025-05-27
[7]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
黄丙奎 ;
林昌模 ;
白载烈 ;
权纯亨 ;
阵和英 ;
金秀贞 ;
李恩受 ;
金圣振 ;
曹雅罗 ;
崔有廷 ;
郑盛宇 .
韩国专利 :CN119668032A ,2025-03-21
[8]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
曹雅罗 ;
林昌模 ;
白载烈 ;
权纯亨 ;
黄丙奎 ;
阵和英 ;
金秀贞 ;
李恩受 ;
崔有廷 ;
郑盛宇 ;
金圣振 .
韩国专利 :CN119668025A ,2025-03-21
[9]
抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法 [P]. 
朴贤 ;
崔有廷 ;
权纯亨 ;
裵信孝 ;
白载烈 .
中国专利 :CN111665683A ,2020-09-15
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抗蚀剂底层组合物和使用组合物形成图案的方法 [P]. 
崔有廷 ;
金圣振 ;
白载烈 ;
阵和英 ;
权纯亨 .
韩国专利 :CN117590687A ,2024-02-23