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等离子体处理装置
被引：0
申请号：
CN202011355183.0
申请日：
2020-11-27
公开(公告)号：
CN114566415A
公开(公告)日：
2022-05-31
发明(设计)人：
徐朝阳
吴磊
王凯麟
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
徐雯琼;张静洁
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-06-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20201127 |
| 2022-05-31 | 公开 | 公开 |