一种等间距调节模组

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011560220.1

申请日：

2020-12-25

公开(公告)号：

CN112635377A

公开(公告)日：

2021-04-09

发明(设计)人：

古市昌稔胡启凡武一鸣

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

陶金龙;吴世华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-09	公开	公开
2021-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20201225
2022-11-08	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 21/677 申请公布日:20210409

共 50 条

[1]

一种等间距调节模组及应用其的间距调节设备 [P].

邓述跃 ;

罗志辉 ;

高云峰 .

中国专利 :CN211034248U ,2020-07-17

[2]

一种等间距调节机构 [P].

彭洋洋 ;

李晶 ;

李大磊 ;

万卓 ;

李青华 .

中国专利 :CN213398606U ,2021-06-08

[3]

一种用于半导体设备的多层可变间距晶圆搬送机械手 [P].

古市昌稔 ;

胡启凡 ;

武一鸣 .

中国专利 :CN214099609U ,2021-08-31

[4]

等间距调节装置以及等间距搬运设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN216511364U ,2022-05-13

[5]

一种等间距调节吸取机构 [P].

马朋 ;

刘攀 .

中国专利 :CN216403065U ,2022-04-29

[6]

等间距统一调节装置 [P].

王昭平 ;

吴一文 ;

王自豪 ;

何建山 ;

俞晨剑 ;

蒋玉明 .

中国专利 :CN207656176U ,2018-07-27

[7]

一种夹持输送及等间距调节装置 [P].

史中伟 ;

史正 ;

姚辉 ;

陈世尧 .

中国专利 :CN115009823A ,2022-09-06

[8]

一种调节切割喷嘴等间距的装置 [P].

丁卫兵 ;

彭长良 .

中国专利 :CN108656218A ,2018-10-16

[9]

一种等间距调节后高速分道装置 [P].

史中伟 ;

史正 ;

姚辉 ;

冯育全 .

中国专利 :CN115009825A ,2022-09-06

[10]

一种调节切割喷嘴等间距的装置 [P].

丁卫兵 ;

彭长良 .

中国专利 :CN208601672U ,2019-03-15

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