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全自动晶圆分选机智能固晶结构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111224904.9
申请日：
2021-10-21
公开(公告)号：
CN114068361A
公开(公告)日：
2022-02-18
发明(设计)人：
邓朝旭
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙华新区大浪街道高峰社区乌石岗工业区第十栋厂房
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380
代理人：
吴雅丽
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-18 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20211021 |