一种新型镀膜石墨舟

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专利类型
实用新型
申请号
CN201720163423.4
申请日
2017-02-22
公开(公告)号
CN206502864U
公开(公告)日
2017-09-19
发明(设计)人
何达能 方结彬 陈刚
申请人
申请人地址
528137 广东省佛山市三水区乐平镇工业园区C区69号
IPC主分类号
C23C1644
IPC分类号
H01L3118 H01L21673
代理机构
广州知友专利商标代理有限公司 44104
代理人
侯莉
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种管式镀膜水平石墨舟 [P]. 
何达能 ;
方结彬 ;
陈刚 .
中国专利 :CN206505899U ,2017-09-19
[2]
一种石墨舟和石墨舟镀膜设备 [P]. 
郑峰峰 .
中国专利 :CN213184235U ,2021-05-11
[3]
一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备 [P]. 
高凤海 ;
费正洪 ;
李栋 .
中国专利 :CN209418475U ,2019-09-20
[4]
一种无接触插片石墨舟 [P]. 
何达能 ;
方结彬 ;
陈刚 .
中国专利 :CN206505940U ,2017-09-19
[5]
一种高导电石墨舟 [P]. 
何达能 ;
方结彬 ;
陈刚 .
中国专利 :CN206505901U ,2017-09-19
[6]
一种石墨舟及镀膜系统 [P]. 
陈森 ;
杨龙 ;
李广旭 ;
刘德茂 .
中国专利 :CN222557058U ,2025-03-04
[7]
一种新型石墨舟 [P]. 
周芳超 ;
王建 .
中国专利 :CN216738528U ,2022-06-14
[8]
一种无接触插片石墨舟 [P]. 
何达能 ;
方结彬 ;
陈刚 .
中国专利 :CN107046080A ,2017-08-15
[9]
用于双面镀膜的石墨舟片及石墨舟 [P]. 
黄纪德 ;
蒋方丹 ;
金井升 ;
金浩 ;
陈康平 .
中国专利 :CN204130510U ,2015-01-28
[10]
一种镀膜用石墨舟 [P]. 
陈文浩 ;
王冕 ;
奚彬 ;
刘仁中 .
中国专利 :CN106222629B ,2016-12-14