一种硅片清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721065667.5

申请日：

2017-08-24

公开(公告)号：

CN208303361U

公开(公告)日：

2019-01-01

发明(设计)人：

古元甲刘晓伟刘涛刘琦范猛李伟刘沛然孙昊孙毅田志民王少刚秦焱泽石海涛李建扬李方乐辛超李强瑛邱长兴

申请人：

申请人地址：

300384 天津市西青区华苑产业园区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

B08B308

IPC分类号：

B08B310 B08B312 B08B1300

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗设备及清洗工艺 [P].

古元甲 ;

刘晓伟 ;

刘涛 ;

刘琦 ;

李伟 ;

刘沛然 ;

孙昊 ;

孙毅 ;

石海涛 ;

秦焱泽 ;

杨旭洲 ;

田志民 ;

李方乐 .

中国专利 :CN107639070A ,2018-01-30

[2]

一种硅片清洗设备 [P].

万关良 .

中国专利 :CN214672522U ,2021-11-09

[3]

一种硅片清洗设备 [P].

白如意 ;

王志广 ;

王强 ;

马玉水 .

中国专利 :CN221994420U ,2024-11-12

[4]

硅片清洗设备 [P].

陈海燕 .

中国专利 :CN209119058U ,2019-07-16

[5]

一种硅片循环清洗设备 [P].

祝凯 .

中国专利 :CN214516310U ,2021-10-29

[6]

一种硅片清洗设备 [P].

李晶哲 ;

丁可庄 .

中国专利 :CN203304220U ,2013-11-27

[7]

一种硅片清洗设备 [P].

杨与胜 ;

郭彦恒 ;

胡连旺 .

中国专利 :CN221304594U ,2024-07-09

[8]

一种硅片清洗设备 [P].

左国军 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

任金枝 .

中国专利 :CN211100448U ,2020-07-28

[9]

电池硅片清洗设备 [P].

陈海燕 .

中国专利 :CN210443532U ,2020-05-01

[10]

一种硅片清洗设备 [P].

洪育林 ;

张震 ;

安冠宇 ;

李文文 ;

刘凯 .

中国专利 :CN204564642U ,2015-08-19

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