一种硅片清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120452325.9

申请日：

2021-03-02

公开(公告)号：

CN214672522U

公开(公告)日：

2021-11-09

发明(设计)人：

万关良

申请人：

申请人地址：

065600 河北省廊坊市永清县贾八里庄村北、朱庄村东南

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818

代理人：

王振佳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗设备 [P].

石坚 ;

朱棣 ;

李杰 ;

于友 ;

刘世伟 .

中国专利 :CN209691736U ,2019-11-26

[2]

一种硅片清洗设备 [P].

古元甲 ;

刘晓伟 ;

刘涛 ;

刘琦 ;

范猛 ;

李伟 ;

刘沛然 ;

孙昊 ;

孙毅 ;

田志民 ;

王少刚 ;

秦焱泽 ;

石海涛 ;

李建扬 ;

李方乐 ;

辛超 ;

李强瑛 ;

邱长兴 .

中国专利 :CN208303361U ,2019-01-01

[3]

一种硅片清洗设备 [P].

白如意 ;

王志广 ;

王强 ;

马玉水 .

中国专利 :CN221994420U ,2024-11-12

[4]

硅片清洗设备 [P].

陈海燕 .

中国专利 :CN209119058U ,2019-07-16

[5]

一种硅片循环清洗设备 [P].

祝凯 .

中国专利 :CN214516310U ,2021-10-29

[6]

一种硅片清洗设备 [P].

李晶哲 ;

丁可庄 .

中国专利 :CN203304220U ,2013-11-27

[7]

一种硅片清洗设备 [P].

杨与胜 ;

郭彦恒 ;

胡连旺 .

中国专利 :CN221304594U ,2024-07-09

[8]

一种硅片清洗设备 [P].

左国军 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

任金枝 .

中国专利 :CN211100448U ,2020-07-28

[9]

电池硅片清洗设备 [P].

陈海燕 .

中国专利 :CN210443532U ,2020-05-01

[10]

一种硅片清洗设备 [P].

洪育林 ;

张震 ;

安冠宇 ;

李文文 ;

刘凯 .

中国专利 :CN204564642U ,2015-08-19

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