用于收集靶材料的仪器、系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580011850.4

申请日：

2015-01-30

公开(公告)号：

CN106062170B

公开(公告)日：

2016-10-26

发明(设计)人：

L·尤伦 D·E·坎普顿 J·J·诺德伯格 S·卡雷 J·E·伦特

申请人：

申请人地址：

美国华盛顿

IPC主分类号：

C12M126

IPC分类号：

G01N100

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

张小勇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101702564903 IPC(主分类):C12M 1/26 专利申请号:2015800118504 申请日:20150130
2019-11-05	授权	授权
2016-10-26	公开	公开

共 50 条

[1]

用于收集靶材料的仪器、系统和方法 [P].

L·尤伦 ;

D·E·坎普顿 ;

J·J·诺德伯格 ;

S·卡雷 ;

J·E·伦特 .

中国专利 :CN111139175A ,2020-05-12

[2]

用于收集靶材料的仪器、系统和方法 [P].

L·尤伦 ;

D·E·坎普顿 ;

J·J·诺德伯格 ;

S·卡雷 ;

J·E·伦特 .

美国专利 :CN111139175B ,2024-08-13

[3]

用于收集靶物质的装置、系统和方法 [P].

D.坎普顿 ;

D.斯图尔特 ;

J.伦德特 ;

J.诺尔德伯格 ;

S.夸雷 ;

R.佐伊伯特 ;

L.乌伦 .

中国专利 :CN105745318A ,2016-07-06

[4]

用于收集靶物质的设备、系统和方法 [P].

R·休伯特 ;

L·乌仁 .

中国专利 :CN109414694A ,2019-03-01

[5]

用于对EUV容器和EUV收集器进行靶材料碎片清洁的系统、方法和装置 [P].

白钟勋 ;

M·C·亚伯拉罕 ;

D·R·埃文斯 ;

J·M·加扎 .

中国专利 :CN108472497A ,2018-08-31

[6]

用于对EUV容器和EUV收集器进行靶材料碎片清洁的系统、方法和装置 [P].

白宗薰 ;

M·C·亚伯拉罕 ;

D·R·埃文斯 ;

J·M·加扎 .

中国专利 :CN113791523A ,2021-12-14

[7]

用于对EUV容器和EUV收集器进行靶材料碎片清洁的系统、方法和装置 [P].

白宗薰 ;

M·C·亚伯拉罕 ;

D·R·埃文斯 ;

J·M·加扎 .

:CN113791523B ,2024-04-09

[8]

用于从微孔收回靶材料的系统和方法 [P].

卡利安·翰迪克 ;

斯瓦蒂·拉纳德 ;

维沙·沙玛 ;

奥斯丁·佩恩 ;

萨姆·塔克 .

中国专利 :CN113924494A ,2022-01-11

[9]

用于提供靶材料的设备和方法 [P].

C·拉加古鲁 ;

J·M·阿戈提斯 ;

石川哲也 ;

P·M·鲍姆加特 .

中国专利 :CN107077905B ,2017-08-18

[10]

用于辐照靶材料的系统 [P].

约瑟夫·科莫尔 ;

J-M·吉茨 ;

贝努瓦·纳克特加尔 .

中国专利 :CN110808113B ,2020-02-18

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