锰合金溅射靶及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02808289.3

申请日：

2002-02-18

公开(公告)号：

CN1311096C

公开(公告)日：

2004-06-09

发明(设计)人：

中村祐一郎

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22C102 B21J502 B21J508 G11B5851 G11B565

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

樊卫民;杨青

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-06-09	公开	公开
2004-08-18	实质审查的生效	实质审查的生效
2017-04-05	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101749703250 IPC(主分类):C23C 14/34 专利号:ZL028082893 变更事项:专利权人变更前:吉坤日矿日石金属株式会社变更后:捷客斯金属株式会社变更事项:地址变更前:日本东京变更后:日本东京
2022-03-08	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20020218 授权公告日:20070418
2007-04-18	授权	授权
2011-07-20	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101115695201 IPC(主分类):C23C 14/34 专利号:ZL028082893 变更事项:专利权人变更前:日矿金属株式会社变更后:吉坤日矿日石金属株式会社变更事项:地址变更前:日本东京变更后:日本东京

共 50 条

[1]

In或In合金溅射靶及其制造方法 [P].

陆田雄也 ;

梅本启太 ;

张守斌 .

中国专利 :CN105593398B ,2016-05-18

[2]

铜合金溅射靶及其制造方法 [P].

守井泰士 ;

大月富男 .

中国专利 :CN107109633B ,2017-08-29

[3]

银合金溅射靶及其制造方法 [P].

松崎均 ;

高木胜寿 ;

中井淳一 ;

中根靖夫 .

中国专利 :CN1238554C ,2004-11-10

[4]

高纯度铜锰合金溅射靶 [P].

长田健一 ;

大月富男 ;

冈部岳夫 ;

牧野修仁 ;

福岛笃志 .

中国专利 :CN104066868B ,2014-09-24

[5]

高纯度铜锰合金溅射靶 [P].

长田健一 ;

大月富男 ;

冈部岳夫 ;

牧野修仁 ;

福岛笃志 .

中国专利 :CN103547701A ,2014-01-29

[6]

高纯度铜锰合金溅射靶 [P].

长田健一 ;

大月富男 ;

冈部岳夫 ;

牧野修仁 ;

福岛笃志 .

中国专利 :CN103797152A ,2014-05-14

[7]

溅射靶、溅射靶材及其制造方法 [P].

小岛丰 ;

松前和男 ;

葛城成吾 .

中国专利 :CN101360844A ,2009-02-04

[8]

铜锰溅射靶 [P].

斯蒂芬·费拉泽 ;

弗兰克·C·奥尔福德 ;

苏珊·D·斯特罗瑟 ;

艾拉·G·诺兰德 ;

迈克尔·R·品特 ;

帕特里克·安德伍德 .

中国专利 :CN111344434A ,2020-06-26

[9]

铜合金溅射靶及铜合金溅射靶的制造方法 [P].

森晓 ;

坂本敏夫 ;

大久保清之 .

中国专利 :CN104342574B ,2015-02-11

[10]

溅射靶材、溅射靶、溅射靶用铝板及其制造方法 [P].

竹田博贵 ;

藤田昌宏 .

中国专利 :CN110709532B ,2020-01-17

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