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抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、化合物以及产酸剂

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110206830.6
申请日：
2008-11-13
公开(公告)号：
CN102344437B
公开(公告)日：
2012-02-08
发明(设计)人：
濑下武广 内海义之 川上晃也 羽田英夫 清水宏明 中村刚
申请人：
申请人地址：
日本神奈川县
IPC主分类号：
C07D32704
IPC分类号：
C07D33346 C07D33502 C07D33376 C07C38112
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
蒋亭
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2014-05-07 授权 授权
2012-03-21 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101208129555 IPC(主分类):C07D 327/04 专利申请号:2011102068306 申请日:20081113
2012-02-08 公开 公开
共 50 条
[1]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、新型化合物以及产酸剂 [P]. 
濑下武广 ;
内海义之 ;
川上晃也 ;
羽田英夫 ;
清水宏明 ;
中村刚 .
中国专利 :CN101470349B ,2009-07-01
[2]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、新型化合物以及产酸剂 [P]. 
濑下武广 ;
内海义之 ;
川上晃也 ;
羽田英夫 ;
清水宏明 ;
中村刚 .
中国专利 :CN102566267A ,2012-07-11
[3]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法、产酸剂成分以及化合物 [P]. 
长峰高志 ;
远藤浩太朗 ;
生川智启 .
中国专利 :CN106980232A ,2017-07-25
[4]
新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
羽田英夫 ;
内海义之 ;
石塚启太 ;
松泽贤介 ;
金子文武 ;
大下京子 ;
清水宏明 ;
吉井靖博 .
中国专利 :CN101464628B ,2009-06-24
[5]
新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
羽田英夫 ;
内海义之 ;
石塚启太 ;
松泽贤介 ;
金子文武 ;
大下京子 ;
清水宏明 ;
吉井靖博 .
中国专利 :CN103969952A ,2014-08-06
[6]
新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
羽田英夫 ;
内海义之 ;
石塚启太 ;
松泽贤介 ;
金子文武 ;
大下京子 ;
清水宏明 ;
吉井靖博 .
中国专利 :CN106986792A ,2017-07-28
[7]
新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
羽田英夫 ;
内海义之 ;
石塚启太 ;
松泽贤介 ;
金子文武 ;
大下京子 ;
清水宏明 ;
吉井靖博 .
中国专利 :CN102866585B ,2013-01-09
[8]
抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
长峰高志 ;
海保贵昭 ;
中村刚 .
中国专利 :CN111149057A ,2020-05-12
[9]
抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
高木大地 ;
中村刚 ;
板垣友祐 .
日本专利 :CN116745699B ,2024-03-22
[10]
抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法 [P]. 
长峰高志 ;
中村刚 .
中国专利 :CN107844031A ,2018-03-27
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