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新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200810185226.8
申请日：
2008-12-18
公开(公告)号：
CN101464628B
公开(公告)日：
2009-06-24
发明(设计)人：
羽田英夫 内海义之 石塚启太 松泽贤介 金子文武 大下京子 清水宏明 吉井靖博
申请人：
申请人地址：
日本神奈川县
IPC主分类号：
G03F7004
IPC分类号：
G03F7028 G03F700 C07C30900
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
朱丹
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2009-06-24 公开 公开
2012-12-26 授权 授权
2009-08-19 实质审查的生效 实质审查的生效
共 50 条
[1]
新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
羽田英夫 ;
内海义之 ;
石塚启太 ;
松泽贤介 ;
金子文武 ;
大下京子 ;
清水宏明 ;
吉井靖博 .
中国专利 :CN103969952A ,2014-08-06
[2]
新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
羽田英夫 ;
内海义之 ;
石塚启太 ;
松泽贤介 ;
金子文武 ;
大下京子 ;
清水宏明 ;
吉井靖博 .
中国专利 :CN106986792A ,2017-07-28
[3]
新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
羽田英夫 ;
内海义之 ;
石塚启太 ;
松泽贤介 ;
金子文武 ;
大下京子 ;
清水宏明 ;
吉井靖博 .
中国专利 :CN102866585B ,2013-01-09
[4]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、新型化合物以及产酸剂 [P]. 
濑下武广 ;
内海义之 ;
川上晃也 ;
羽田英夫 ;
清水宏明 ;
中村刚 .
中国专利 :CN101470349B ,2009-07-01
[5]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、新型化合物以及产酸剂 [P]. 
濑下武广 ;
内海义之 ;
川上晃也 ;
羽田英夫 ;
清水宏明 ;
中村刚 .
中国专利 :CN102566267A ,2012-07-11
[6]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、化合物以及产酸剂 [P]. 
濑下武广 ;
内海义之 ;
川上晃也 ;
羽田英夫 ;
清水宏明 ;
中村刚 .
中国专利 :CN102344437B ,2012-02-08
[7]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法、产酸剂成分以及化合物 [P]. 
长峰高志 ;
远藤浩太朗 ;
生川智启 .
中国专利 :CN106980232A ,2017-07-25
[8]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法、新型化合物及其制法 [P]. 
川上晃也 ;
岩井武 ;
羽田英夫 ;
秀坂慎一 ;
黑泽刚志 ;
圆山夏子 ;
松泽贤介 ;
濑下武广 ;
清水宏明 ;
中村刚 .
中国专利 :CN101408728A ,2009-04-15
[9]
抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法 [P]. 
长峰高志 ;
中村刚 .
中国专利 :CN107844031A ,2018-03-27
[10]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
熊田信次 ;
前盛谕 ;
新井雅俊 ;
盐野大寿 .
中国专利 :CN102621807A ,2012-08-01
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