抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法、新型化合物及其制法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810212866.3

申请日：

2008-09-10

公开(公告)号：

CN101408728A

公开(公告)日：

2009-04-15

发明(设计)人：

川上晃也岩井武羽田英夫秀坂慎一黑泽刚志圆山夏子松泽贤介濑下武广清水宏明中村刚

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F7027 G03F700 C07D49318 C08L3314 C08K542

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

朱丹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-06-10	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-04-15	公开	公开
2012-03-21	授权	授权

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、新型化合物以及产酸剂 [P].

濑下武广 ;

内海义之 ;

川上晃也 ;

羽田英夫 ;

清水宏明 ;

中村刚 .

中国专利 :CN101470349B ,2009-07-01

[2]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、新型化合物以及产酸剂 [P].

濑下武广 ;

内海义之 ;

川上晃也 ;

羽田英夫 ;

清水宏明 ;

中村刚 .

中国专利 :CN102566267A ,2012-07-11

[3]

新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

羽田英夫 ;

内海义之 ;

石塚启太 ;

松泽贤介 ;

金子文武 ;

大下京子 ;

清水宏明 ;

吉井靖博 .

中国专利 :CN101464628B ,2009-06-24

[4]

新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

羽田英夫 ;

内海义之 ;

石塚启太 ;

松泽贤介 ;

金子文武 ;

大下京子 ;

清水宏明 ;

吉井靖博 .

中国专利 :CN103969952A ,2014-08-06

[5]

新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

羽田英夫 ;

内海义之 ;

石塚启太 ;

松泽贤介 ;

金子文武 ;

大下京子 ;

清水宏明 ;

吉井靖博 .

中国专利 :CN106986792A ,2017-07-28

[6]

新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

羽田英夫 ;

内海义之 ;

石塚启太 ;

松泽贤介 ;

金子文武 ;

大下京子 ;

清水宏明 ;

吉井靖博 .

中国专利 :CN102866585B ,2013-01-09

[7]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法 [P].

熊田信次 ;

前盛谕 ;

新井雅俊 ;

盐野大寿 .

中国专利 :CN102621807A ,2012-08-01

[8]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、化合物以及产酸剂 [P].

濑下武广 ;

内海义之 ;

川上晃也 ;

羽田英夫 ;

清水宏明 ;

中村刚 .

中国专利 :CN102344437B ,2012-02-08

[9]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法、产酸剂成分以及化合物 [P].

长峰高志 ;

远藤浩太朗 ;

生川智启 .

中国专利 :CN106980232A ,2017-07-25

[10]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

长峰高志 ;

中村刚 .

中国专利 :CN107844031A ,2018-03-27

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