一种蓝宝石衬底抛光工艺

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专利类型
发明
申请号
CN201110428941.1
申请日
2011-12-20
公开(公告)号
CN102513906B
公开(公告)日
2012-06-27
发明(设计)人
柳祝平 黄小卫 王联
申请人
申请人地址
214037 江苏省无锡市北塘区江海西路金山北科技园金山四支路9号
IPC主分类号
B24B2902
IPC分类号
代理机构
无锡市大为专利商标事务所 32104
代理人
殷红梅;涂三民
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种蓝宝石衬底抛光装置 [P]. 
柳祝平 ;
黄小卫 ;
王联 .
中国专利 :CN202388365U ,2012-08-22
[2]
一种蓝宝石半导体衬底的抛光工艺 [P]. 
陈斌 .
中国专利 :CN117182763B ,2024-08-06
[3]
蓝宝石衬底抛光液 [P]. 
牛新环 ;
崔雅琪 ;
王治 ;
周佳凯 ;
王如 ;
何彦刚 .
中国专利 :CN110885636A ,2020-03-17
[4]
蓝宝石衬底抛光装置 [P]. 
杨国峰 ;
杨文娟 .
中国专利 :CN204118036U ,2015-01-21
[5]
蓝宝石衬底抛光装置 [P]. 
朱宁 ;
刘增伟 ;
魏行行 .
中国专利 :CN205588136U ,2016-09-21
[6]
一种蓝宝石衬底抛光装置 [P]. 
秦国强 ;
林良坤 ;
钟国庆 ;
赵如璇 .
中国专利 :CN205968586U ,2017-02-22
[7]
一种蓝宝石衬底 [P]. 
石剑舫 .
中国专利 :CN202643907U ,2013-01-02
[8]
LED蓝宝石衬底抛光装置 [P]. 
吴康 ;
李国红 ;
马跃东 ;
邓源 .
中国专利 :CN214135472U ,2021-09-07
[9]
一种蓝宝石面板的双面抛光工艺 [P]. 
周群飞 ;
饶桥兵 ;
傅亮 .
中国专利 :CN104015123A ,2014-09-03
[10]
一种蓝宝石衬底抛光台 [P]. 
黄朝辉 .
中国专利 :CN211414743U ,2020-09-04