液处理装置及液处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110460406.4

申请日：

2011-12-28

公开(公告)号：

CN102553851A

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

东岛治郎绪方信博金子聪长峰秀一甲斐义广

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-03	授权	授权
2012-07-11	公开	公开
2013-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101496721932 IPC(主分类):B08B 3/02 专利申请号:2011104604064 申请日:20111228

共 50 条

[1]

液处理装置及液处理方法 [P].

香川興司 ;

溝田昌吾 ;

东岛治郎 .

中国专利 :CN102629563B ,2012-08-08

[2]

处理液供给装置及方法、处理液及基板处理装置及方法 [P].

宫城雅宏 ;

荒木浩之 ;

铃木政典 ;

佐藤朋且 ;

川濑信雄 .

中国专利 :CN104662644A ,2015-05-27

[3]

基板液处理装置及基板液处理方法 [P].

赵允仙 ;

金瀚沃 ;

鲁圣德 ;

金康元 .

中国专利 :CN105390418B ,2018-11-13

[4]

处理液供给装置及处理液供给方法 [P].

相原友明 ;

永田博史 ;

田原真二 .

日本专利 :CN121034993A ,2025-11-28

[5]

基板液处理装置及基板液处理方法 [P].

赵允仙 ;

金瀚沃 .

中国专利 :CN107078083B ,2017-08-18

[6]

液处理装置及液处理方法 [P].

东岛治郎 ;

八谷洋介 ;

相浦一博 ;

伊藤规宏 ;

新藤尚树 ;

伊藤优树 .

中国专利 :CN102610488B ,2012-07-25

[7]

液处理装置及液处理方法 [P].

黑田修 .

中国专利 :CN1432440A ,2003-07-30

[8]

液处理装置和液处理方法 [P].

西健治 ;

竹下和宏 ;

绪方信博 ;

田中晓 ;

沟田昌吾 .

中国专利 :CN102683245B ,2012-09-19

[9]

液处理装置和液处理方法 [P].

梶原英树 ;

米光祐弥 ;

山中晋一郎 ;

水篠真一 ;

饭田成昭 ;

川上浩平 ;

东徹 .

日本专利 :CN112071771B ,2025-11-25

[10]

液处理装置和液处理方法 [P].

冈泽智树 ;

西山雄太 ;

飞松武志 .

日本专利 :CN111863658B ,2025-09-05

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