基板液处理装置及基板液处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680003315.9

申请日：

2016-05-02

公开(公告)号：

CN107078083B

公开(公告)日：

2017-08-18

发明(设计)人：

赵允仙金瀚沃

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384

代理人：

郑青松

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-18	公开	公开
2021-03-16	授权	授权
2017-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101747167021 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2016800033159 申请日:20160502

共 50 条

[1]

基板液处理装置及基板液处理方法 [P].

赵允仙 ;

金瀚沃 ;

鲁圣德 ;

金康元 .

中国专利 :CN105390418B ,2018-11-13

[2]

基板处理方法、基板处理液及基板处理装置 [P].

佐佐木悠太 .

中国专利 :CN110800087A ,2020-02-14

[3]

基板处理方法、基板处理液及基板处理装置 [P].

佐佐木悠太 .

日本专利 :CN110800087B ,2024-03-19

[4]

基板处理方法、基板处理装置及基板处理液 [P].

塙洋祐 ;

春本晶子 ;

上田大 .

日本专利 :CN119585848A ,2025-03-07

[5]

基板液处理装置、基板液处理方法以及基板处理装置 [P].

张健 ;

天野嘉文 ;

冈本英一郎 ;

伊藤优树 .

中国专利 :CN105845603B ,2016-08-10

[6]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

小原隆宪 .

日本专利 :CN117461118A ,2024-01-26

[7]

基板液处理装置以及基板液处理方法 [P].

佐藤秀明 .

中国专利 :CN105983549B ,2016-10-05

[8]

基板液处理方法和基板液处理装置 [P].

小佐井一树 ;

大塚贵久 ;

篠原和義 ;

铃木启之 ;

八谷洋介 ;

东博之 .

中国专利 :CN107591345A ,2018-01-16

[9]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

高木康弘 ;

小宫洋司 ;

信国力 ;

佐竹圭吾 ;

穴本笃史 .

中国专利 :CN104637841B ,2015-05-20

[10]

基板液处理装置和基板液处理方法 [P].

高木康弘 ;

小宫洋司 ;

信国力 ;

佐竹圭吾 ;

穴本笃史 .

中国专利 :CN110197803A ,2019-09-03

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