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基板处理方法、基板处理液及基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880042458.X
申请日：
2018-06-12
公开(公告)号：
CN110800087B
公开(公告)日：
2024-03-19
发明(设计)人：
佐佐木悠太
申请人：
株式会社斯库林集团
申请人地址：
日本京都
IPC主分类号：
H01L21/304
IPC分类号：
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
陈甜甜
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-19 | 授权 | 授权 |