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可量产的微波等离子体光源谐振器
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201520285791.7
申请日
:
2015-05-05
公开(公告)号
:
CN204792692U
公开(公告)日
:
2015-11-18
发明(设计)人
:
贾华
朱梁
彭承尧
单家芳
刘甫坤
程敏
申请人
:
申请人地址
:
230000 安徽省合肥市六安路158号11栋212室
IPC主分类号
:
H01J6504
IPC分类号
:
代理机构
:
安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112
代理人
:
余成俊
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2015-11-18
授权
授权
共 50 条
[1]
一种低成本的微波等离子体光源谐振器
[P].
贾华
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贾华
;
单家芳
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单家芳
;
刘甫坤
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刘甫坤
;
宦维定
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宦维定
.
中国专利
:CN209859912U
,2019-12-27
[2]
一种低成本的微波等离子体光源谐振器
[P].
贾华
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贾华
;
单家芳
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单家芳
;
刘甫坤
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刘甫坤
;
宦维定
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宦维定
.
中国专利
:CN110148551A
,2019-08-20
[3]
一种低成本的微波等离子体光源谐振器
[P].
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机构:
贾华
;
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机构:
单家芳
;
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机构:
刘甫坤
;
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机构:
宦维定
.
中国专利
:CN110148551B
,2024-02-02
[4]
微波等离子体光源
[P].
潘栓龙
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潘栓龙
;
李振宝
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李振宝
;
施理
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施理
.
中国专利
:CN206293407U
,2017-06-30
[5]
微波驱动等离子体光源
[P].
A·S·尼特
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A·S·尼特
;
B·普勒斯顿
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B·普勒斯顿
.
中国专利
:CN103119690B
,2013-05-22
[6]
微波等离子体光源
[P].
贾华
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贾华
;
程敏
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程敏
;
彭承尧
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彭承尧
;
朱梁
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朱梁
;
张立元
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张立元
;
单家芳
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单家芳
;
刘甫坤
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刘甫坤
.
中国专利
:CN104952691A
,2015-09-30
[7]
微波等离子体光源
[P].
贾华
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贾华
;
程敏
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程敏
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彭承尧
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彭承尧
;
朱梁
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朱梁
;
张立元
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张立元
;
单家芳
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单家芳
;
刘甫坤
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刘甫坤
.
中国专利
:CN204927239U
,2015-12-30
[8]
使用介质谐振器的微波等离子体谱仪
[P].
约万·耶夫蒂奇
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约万·耶夫蒂奇
;
阿肖克·梅农
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阿肖克·梅农
;
韦利博尔·皮凯利亚
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韦利博尔·皮凯利亚
.
中国专利
:CN105122042B
,2015-12-02
[9]
用于等离子体诊断的微波谐振器阵列
[P].
大卫·约翰·彼得森
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机构:
应用材料公司
应用材料公司
大卫·约翰·彼得森
;
林庄嘉
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机构:
应用材料公司
应用材料公司
林庄嘉
.
美国专利
:CN117751440A
,2024-03-22
[10]
局域表面等离子体谐振器
[P].
许秉正
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许秉正
;
贾胜利
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贾胜利
;
苏培
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苏培
.
中国专利
:CN109085668A
,2018-12-25
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