共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
用于等离子体诊断的微波谐振器阵列
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280053292.8
申请日：
2022-07-19
公开(公告)号：
CN117751440A
公开(公告)日：
2024-03-22
发明(设计)人：
大卫·约翰·彼得森
林庄嘉
申请人：
应用材料公司
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01J37/32
H01Q9/27
H01L21/66
代理机构：
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人：
徐金国;吴启超
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20220719 |
| 2024-03-22 | 公开 | 公开 |