一种基于复合扫描改进三维微纳结构的加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810742250.0

申请日：

2018-07-09

公开(公告)号：

CN108983555B

公开(公告)日：

2018-12-11

发明(设计)人：

曹耀宇李湘滔李向平

申请人：

申请人地址：

510632 广东省广州市天河区黄埔大道西601号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司 44245

代理人：

陈燕娴

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-11	公开	公开
2019-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180709
2020-09-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种自组装三维微纳结构的制备方法 [P].

梁飞燕 ;

童欣 ;

王九鑫 ;

何智恒 ;

耿可佳 ;

赵毅婕 .

中国专利 :CN111694219A ,2020-09-22

[2]

基于纳米探针的微纳三维结构制备方法 [P].

张一慧 ;

薛兆国 ;

吕增耀 ;

白柯 ;

王月皎 ;

赵建中 ;

兰宇 ;

柏韧恒 ;

赖禹辰 ;

帅雨萌 .

中国专利 :CN117842927A ,2024-04-09

[3]

一种多层三维微纳结构湿法刻蚀加工方法 [P].

陈桪 ;

王浩亚 ;

龙杰才 ;

舒炜明 ;

张轩 ;

张皓钧 .

中国专利 :CN121091405A ,2025-12-09

[4]

一种三维微纳折纸结构的制备方法 [P].

顾长志 ;

潘如豪 ;

李俊杰 ;

金爱子 ;

杨海方 .

中国专利 :CN110143566A ,2019-08-20

[5]

一种三维微纳结构器件的制备装置及方法 [P].

任山 ;

孟嘉欣 ;

洪澜 ;

孟跃中 ;

肖敏 ;

王拴紧 ;

韩冬梅 .

中国专利 :CN106801248A ,2017-06-06

[6]

一种制备三维金属微纳结构的方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110272017A ,2019-09-24

[7]

一种三维微纳结构导电电极元件的制备方法 [P].

李小杰 ;

吴倩 ;

魏玮 ;

刘仁 ;

刘晓亚 .

中国专利 :CN110333274A ,2019-10-15

[8]

一种基于近场静电纺丝的三维微纳结构的制造装置 [P].

王小峰 ;

孟鑫 ;

唐英豪 ;

张竞之 ;

张燕丽 ;

李顺然 ;

张博 ;

彭磊 ;

郑植 ;

张宇轩 ;

李倩 .

中国专利 :CN209669403U ,2019-11-22

[9]

一种三维微纳结构电化学诱导加工方法 [P].

闫永达 ;

詹东平 ;

韩联欢 ;

曹永智 ;

胡振江 ;

赵学森 .

中国专利 :CN107414221A ,2017-12-01

[10]

三维微纳结构光刻系统及其方法 [P].

邵仁锦 ;

浦东林 ;

朱鹏飞 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

徐顺达 ;

吕帅 ;

陈林森 .

中国专利 :CN112799286B ,2021-05-14

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