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用于半导体基板的搬运手臂
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022825336.5
申请日：
2020-12-01
公开(公告)号：
CN212342593U
公开(公告)日：
2021-01-12
发明(设计)人：
杨冬野
袁蕾
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市常熟市常熟高新区技术产业开发区金门路2号2幢
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L21683
代理机构：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350
代理人：
汤东凤
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-12 | 授权 | 授权 |