用于芯片退火的退火装置

被引：0

申请号：

CN202220679537.5

申请日：

2022-03-24

公开(公告)号：

CN216902838U

公开(公告)日：

2022-07-05

发明(设计)人：

贺照纲

申请人：

申请人地址：

361100 福建省厦门火炬高新区（翔安）产业区建业楼B座701室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

厦门加减专利代理事务所(普通合伙) 35234

代理人：

马垚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-05	授权	授权

共 50 条

[1]

用于芯片退火的退火装置 [P].

贺照纲 .

中国专利 :CN216902837U ,2022-07-05

[2]

用于芯片退火的退火装置 [P].

贺照纲 .

中国专利 :CN216902839U ,2022-07-05

[3]

用于芯片退火的退火装置 [P].

贺照纲 .

中国专利 :CN114530403A ,2022-05-24

[4]

用于晶圆的退火舟以及退火装置 [P].

叶斐 ;

王中党 ;

蒋爱国 .

中国专利 :CN202633251U ,2012-12-26

[5]

用于钢丝的退火装置 [P].

陈爱红 ;

王存金 ;

赵五平 .

中国专利 :CN203429220U ,2014-02-12

[6]

一种用于钢材退火的连续退火装置 [P].

金波 ;

王克 .

中国专利 :CN220846195U ,2024-04-26

[7]

用于晶圆退火的载片盘及退火装置 [P].

杨翠柏 ;

杨光辉 ;

方聪 .

中国专利 :CN206210767U ,2017-05-31

[8]

用于退火装置的支撑机构 [P].

曹英杰 ;

王良乐 ;

吴俊杰 ;

邵君 ;

于振瑞 .

中国专利 :CN223168642U ,2025-07-29

[9]

用于钢丝的高效退火装置 [P].

黄玉祥 .

中国专利 :CN220317870U ,2024-01-09

[10]

退火装置 [P].

孙成勤 ;

王道江 .

中国专利 :CN202849497U ,2013-04-03

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