用于芯片退火的退火装置

被引：0

申请号：

CN202210302697.2

申请日：

2022-03-24

公开(公告)号：

CN114530403A

公开(公告)日：

2022-05-24

发明(设计)人：

贺照纲

申请人：

申请人地址：

361100 福建省厦门火炬高新区（翔安）产业区建业楼B座701室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

厦门加减专利代理事务所(普通合伙) 35234

代理人：

马垚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-24	公开	公开
2022-06-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20220324

共 50 条

[1]

用于芯片退火的退火装置 [P].

贺照纲 .

中国专利 :CN216902838U ,2022-07-05

[2]

用于芯片退火的退火装置 [P].

贺照纲 .

中国专利 :CN216902837U ,2022-07-05

[3]

用于芯片退火的退火装置 [P].

贺照纲 .

中国专利 :CN216902839U ,2022-07-05

[4]

退火装置的控制装置、退火装置、及退火方法 [P].

冈田康弘 ;

万雅史 .

中国专利 :CN115621161A ,2023-01-17

[5]

用于晶圆的退火舟以及退火装置 [P].

叶斐 ;

王中党 ;

蒋爱国 .

中国专利 :CN202633251U ,2012-12-26

[6]

退火方法、退火夹具和退火装置 [P].

平野兼史 ;

花户宏之 ;

仲桥孝博 .

中国专利 :CN104582940A ,2015-04-29

[7]

用于钢丝的退火装置 [P].

陈爱红 ;

王存金 ;

赵五平 .

中国专利 :CN203429220U ,2014-02-12

[8]

用于晶圆退火的载片盘、退火装置及晶圆退火方法 [P].

杨翠柏 ;

杨光辉 ;

方聪 .

中国专利 :CN106340487A ,2017-01-18

[9]

一种用于钢材退火的连续退火装置 [P].

金波 ;

王克 .

中国专利 :CN220846195U ,2024-04-26

[10]

用于晶圆退火的载片盘及退火装置 [P].

杨翠柏 ;

杨光辉 ;

方聪 .

中国专利 :CN206210767U ,2017-05-31

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