磁控溅射制备减磨MoS2/C/Ti复合薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910195127.2

申请日：

2009-09-04

公开(公告)号：

CN101654771A

公开(公告)日：

2010-02-24

发明(设计)人：

李倩倩周磊尹桂林余震何丹农

申请人：

申请人地址：

200240上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1414 C23C1406 C23C1402

代理机构：

上海交达专利事务所

代理人：

王锡麟;王桂忠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-04-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001105238 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2009101951272 申请日:20090904
2014-10-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101587773176 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2009101951272 申请日:20090904 授权公告日:20110209 终止日期:20130904
2010-02-24	公开	公开
2011-02-09	授权	授权

共 50 条

[1]

磁控溅射制备减摩IF－WS2/IF－MoS2复合薄膜的方法 [P].

何丹农 ;

尹桂林 ;

涂江平 ;

夏正志 ;

余震 .

中国专利 :CN1757788A ,2006-04-12

[2]

减摩MoS2/Ti复合镀层 [P].

何丹农 ;

涂江平 ;

夏正志 ;

余震 .

中国专利 :CN1718857A ,2006-01-11

[3]

基于MoS2-TiC-C的自润滑减摩复合薄膜及其制备方法 [P].

宋佳 ;

李倩倩 ;

尹桂林 ;

余震 ;

何丹农 .

中国专利 :CN101921984B ,2010-12-22

[4]

一种TiN/MoS2/Ag高温润滑复合薄膜的制备方法 [P].

国洪建 ;

贾均红 ;

胡伟 ;

周晶晶 .

中国专利 :CN109628891A ,2019-04-16

[5]

一种磁控溅射制备耐磨硬膜的方法 [P].

袁萍 .

中国专利 :CN104513956A ,2015-04-15

[6]

温控装置辅助电场力作用喷射沉积MoS2/Ti复合薄膜 [P].

孙婕 ;

邓建新 ;

李学木 .

中国专利 :CN110484913A ,2019-11-22

[7]

一种TiWN/MoS2复合薄膜的制备方法 [P].

李长生 ;

莫超超 ;

唐华 ;

范有志 ;

胡志立 .

中国专利 :CN102094172B ,2011-06-15

[8]

MoS2/NbC/DLC多元纳米复合超润滑薄膜的制备方法 [P].

张斌 ;

张俊彦 ;

强力 ;

高凯雄 .

中国专利 :CN105779951A ,2016-07-20

[9]

一种MoS2固体润滑薄膜的制备方法 [P].

张俊彦 ;

张斌 ;

薛勇 ;

高凯雄 ;

杨保平 ;

郭军红 .

中国专利 :CN106544668A ,2017-03-29

[10]

少层MoS2修饰Ag-TiO2纳米复合薄膜的制备方法 [P].

吕建国 .

中国专利 :CN108579768A ,2018-09-28

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