激光辐射源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680040956.8

申请日：

2006-11-02

公开(公告)号：

CN101300475A

公开(公告)日：

2008-11-05

发明(设计)人：

斯蒂芬·N·萨顿罗德尼·罗伊斯顿·瓦茨

申请人：

申请人地址：

瑞士乌斯特尔

IPC主分类号：

G01N2139

IPC分类号：

G01N2135 G01N2161 H01S5022

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

王小衡

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效
2014-06-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101701464417 IPC(主分类):G01N 21/39 专利申请号:2006800409568 申请公布日:20081105
2008-11-05	公开	公开

共 50 条

[1]

激光辐射源植物生长装置 [P].

陈晓栋 .

中国专利 :CN206004132U ,2017-03-08

[2]

激光辐射源植物生长装置 [P].

陈晓栋 .

中国专利 :CN106025791A ,2016-10-12

[3]

投射曝光方法、投射曝光设备、激光辐射源以及用于激光辐射源的带宽窄化模块 [P].

迈克尔.帕特拉 .

中国专利 :CN102317868B ,2012-01-11

[4]

一种激光辐射源植物生长装置 [P].

邹军 ;

南青霞 .

中国专利 :CN108626601A ,2018-10-09

[5]

A·M·雅库尼恩 ;

J·A·C·M·皮耶宁堡 ;

C.G.N.H.M.柯林 .

中国专利 :CN111108815A ,2020-05-05

[6]

H·M·米尔德 ;

M·A·范德柯克霍夫 .

中国专利 :CN110692283A ,2020-01-14

[7]

谢特·泰门·范德波斯特 ;

S·B·罗博尔 ;

帕维尔·叶夫图申科 .

中国专利 :CN110383955A ,2019-10-25

[8]

S·爱德华 .

:CN119452308A ,2025-02-14

[9]

R·L·唐克 ;

H-K·尼恩惠斯 .

中国专利 :CN111133840A ,2020-05-08

[10]

EUV辐射源 [P].

拉尔斯·彼得·本克 .

中国专利 :CN115552335A ,2022-12-30

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