一种电容薄膜真空计及NEG薄膜制备方法

被引：0

申请号：

CN202210648150.8

申请日：

2022-06-09

公开(公告)号：

CN114720048B

公开(公告)日：

2022-07-08

发明(设计)人：

毕诗博侯少毅卫红胡强胡琅王凤双黄星星

申请人：

申请人地址：

528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号

IPC主分类号：

G01L2100

IPC分类号：

C23C1435 C23C1402

代理机构：

佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377

代理人：

黄家豪

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-02	授权	授权
2022-07-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 21/00 申请日:20220609
2022-07-08	公开	公开

共 50 条

[1]

一种电容薄膜真空计 [P].

黄星星 ;

侯少毅 ;

卫红 ;

刘乔 ;

胡强 .

中国专利 :CN114459670A ,2022-05-10

[2]

电容薄膜真空计 [P].

王晓利 ;

赵胜义 ;

王育才 .

中国专利 :CN308854823S ,2024-09-24

[3]

一种电容薄膜真空计及其制备方法 [P].

雷程 ;

余建刚 ;

梁庭 ;

张臻昊 ;

李腾腾 ;

李丰超 ;

李鑫浦 ;

李志强 .

中国专利 :CN119178552A ,2024-12-24

[4]

电容薄膜真空计 [P].

刘公超 ;

潘雨默 ;

刘旭强 ;

陶硕 ;

林立男 ;

闫冉 .

中国专利 :CN118624093A ,2024-09-10

[5]

一种消除薄膜应力的电容薄膜真空计 [P].

卫红 ;

侯少毅 ;

刘乔 ;

何斌 ;

黄星星 ;

黎天韵 ;

郭远军 ;

毕诗博 ;

王凤双 .

中国专利 :CN114486062A ,2022-05-13

[6]

电容薄膜真空计及半导体设备 [P].

代郁峰 ;

浦东 .

中国专利 :CN119573974A ,2025-03-07

[7]

一种高精度电容薄膜真空计 [P].

侯少毅 ;

胡琅 ;

胡强 ;

徐平 ;

何斌 ;

黎天韵 ;

郭远军 ;

卫红 ;

黄丽玲 .

中国专利 :CN112834110A ,2021-05-25

[8]

一种新型电容薄膜真空计 [P].

王巍 ;

周丹 ;

黎蛰鳌 ;

陈国辉 .

中国专利 :CN220853990U ,2024-04-26

[9]

电容薄膜真空计薄膜预紧装置及焊接系统 [P].

林辉 .

中国专利 :CN118980450A ,2024-11-19

[10]

一种宽量程的电容薄膜真空计及真空度检测方法 [P].

郭晓东 ;

王凤双 ;

肖永能 ;

黄星星 ;

刘乔 ;

侯少毅 ;

毕诗博 ;

肖慧 .

中国专利 :CN115493744A ,2022-12-20

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