一种消除薄膜应力的电容薄膜真空计

被引：0

申请号：

CN202210332796.5

申请日：

2022-03-31

公开(公告)号：

CN114486062A

公开(公告)日：

2022-05-13

发明(设计)人：

卫红侯少毅刘乔何斌黄星星黎天韵郭远军毕诗博王凤双

申请人：

申请人地址：

528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号

IPC主分类号：

G01L2100

IPC分类号：

G01L1900 G01L1914

代理机构：

佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377

代理人：

许家裕

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 21/00 申请日:20220331
2022-07-15	授权	授权
2022-05-13	公开	公开

共 50 条

[1]

电容薄膜真空计 [P].

刘公超 ;

潘雨默 ;

刘旭强 ;

陶硕 ;

林立男 ;

闫冉 .

中国专利 :CN118624093A ,2024-09-10

[2]

电容薄膜真空计 [P].

王晓利 ;

赵胜义 ;

王育才 .

中国专利 :CN308854823S ,2024-09-24

[3]

一种电容薄膜真空计 [P].

黄星星 ;

侯少毅 ;

卫红 ;

刘乔 ;

胡强 .

中国专利 :CN114459670A ,2022-05-10

[4]

一种电容薄膜真空计及NEG薄膜制备方法 [P].

毕诗博 ;

侯少毅 ;

卫红 ;

胡强 ;

胡琅 ;

王凤双 ;

黄星星 .

中国专利 :CN114720048B ,2022-07-08

[5]

一种高精度电容薄膜真空计 [P].

侯少毅 ;

胡琅 ;

胡强 ;

徐平 ;

何斌 ;

黎天韵 ;

郭远军 ;

卫红 ;

黄丽玲 .

中国专利 :CN112834110A ,2021-05-25

[6]

一种新型电容薄膜真空计 [P].

王巍 ;

周丹 ;

黎蛰鳌 ;

陈国辉 .

中国专利 :CN220853990U ,2024-04-26

[7]

电容薄膜真空计及半导体设备 [P].

代郁峰 ;

浦东 .

中国专利 :CN119573974A ,2025-03-07

[8]

一种高灵敏度电容薄膜真空计 [P].

唐云剑 .

中国专利 :CN109813491A ,2019-05-28

[9]

一种高灵敏度电容薄膜真空计 [P].

唐云剑 .

中国专利 :CN209470806U ,2019-10-08

[10]

电容薄膜真空计薄膜预紧装置及焊接系统 [P].

林辉 .

中国专利 :CN118980450A ,2024-11-19

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