显影液用化学原料纯化装置

被引：0

申请号：

CN202221745980.4

申请日：

2022-07-06

公开(公告)号：

CN217745767U

公开(公告)日：

2022-11-08

发明(设计)人：

蒋丽君张雷

申请人：

申请人地址：

201500 上海市金山区山阳镇浦卫公路16299弄13号5层505室G8

IPC主分类号：

B01D300

IPC分类号：

B01D342 B01F3532 B01F2790

代理机构：

北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947

代理人：

王小燕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-08	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶玻璃液用化学原料纯化装置 [P].

蒋丽君 ;

张雷 .

中国专利 :CN217773443U ,2022-11-11

[2]

显影液喷淋装置 [P].

肖宇 .

中国专利 :CN203037995U ,2013-07-03

[3]

显影液制造装置及显影液制造方法 [P].

中川俊元 ;

菊川诚 ;

小川修 ;

森田悟 ;

宝山隆博 .

中国专利 :CN1237398C ,2002-10-09

[4]

显影液循环回收装置 [P].

张伟明 ;

陈帅 ;

章学春 ;

郑自豪 .

中国专利 :CN223654779U ,2025-12-12

[5]

显影液的喷洒装置 [P].

于航 ;

惠官宝 .

中国专利 :CN202486499U ,2012-10-10

[6]

显影液喷嘴组件和显影装置 [P].

伍强 ;

郝静安 ;

孔德平 .

中国专利 :CN203882094U ,2014-10-15

[7]

显影液收集装置 [P].

韦富文 .

中国专利 :CN215219426U ,2021-12-17

[8]

一种化学原料液干燥装置 [P].

高占友 ;

刘长锁 ;

马秀玲 .

中国专利 :CN204996147U ,2016-01-27

[9]

一种电子级显影液生产用原料储存装置 [P].

吴全贵 ;

郑义达 ;

吴俊贤 ;

赖延恩 ;

陈国民 ;

李文斌 ;

骆彦成 .

中国专利 :CN212530679U ,2021-02-12

[10]

一种化学原料用高效干燥装置 [P].

李世勇 .

中国专利 :CN213208472U ,2021-05-14

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