下电极组件、等离子体处理装置及其工作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911393006.9

申请日：

2019-12-30

公开(公告)号：

CN113130279A

公开(公告)日：

2021-07-16

发明(设计)人：

雷仲礼

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海元好知识产权代理有限公司 31323

代理人：

徐雯琼;张妍

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-16	公开	公开
2021-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20191230

共 50 条

[1]

下电极组件、等离子体处理装置及其工作方法 [P].

林雅萍 ;

左涛涛 ;

蔡楚洋 .

中国专利 :CN113053715A ,2021-06-29

[2]

下电极组件及其等离子体处理装置 [P].

王洪青 ;

左涛涛 .

中国专利 :CN121148978A ,2025-12-16

[3]

下电极组件及其等离子体处理装置 [P].

胡增文 ;

范光伟 ;

侯剑秋 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN117637420A ,2024-03-01

[4]

下电极组件及等离子体处理装置 [P].

郭二飞 ;

左涛涛 .

中国专利 :CN222734926U ,2025-04-08

[5]

等离子体处理装置和下电极组件 [P].

倪图强 ;

郭盛 ;

孙祥 ;

范光伟 ;

杨宽 ;

王洪青 ;

陈星建 ;

杜若昕 .

中国专利 :CN214477329U ,2021-10-22

[6]

下电极组件和等离子体处理装置 [P].

吴磊 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN214672493U ,2021-11-09

[7]

下电极组件和等离子体处理装置 [P].

吴磊 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN114914142A ,2022-08-16

[8]

下电极组件和等离子体处理装置 [P].

裴江涛 ;

连增迪 ;

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN213150716U ,2021-05-07

[9]

下电极组件和等离子体处理装置 [P].

吴磊 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN114914142B ,2025-02-14

[10]

等离子体处理装置、下电极组件及其形成方法 [P].

倪图强 ;

郭盛 ;

孙祥 ;

范光伟 ;

杨宽 ;

王洪青 ;

陈星建 ;

杜若昕 .

中国专利 :CN115249606B ,2025-02-14

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