石墨烯电极的静电卡盘装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620163992.4

申请日：

2016-03-03

公开(公告)号：

CN205406504U

公开(公告)日：

2016-07-27

发明(设计)人：

徐登峰朱煜杨鹏远许岩成荣韩玮琦唐娜娜张鸣杨开明

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华大学学研综合楼B902室

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

北京恩赫律师事务所 11469

代理人：

赵文成;刘守宪

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-07-27	授权	授权

共 50 条

[1]

石墨烯电极的静电卡盘装置 [P].

徐登峰 ;

朱煜 ;

杨鹏远 ;

许岩 ;

成荣 ;

韩玮琦 ;

唐娜娜 ;

张鸣 ;

杨开明 .

中国专利 :CN107154377A ,2017-09-12

[2]

静电卡盘装置 [P].

朱煜 ;

徐登峰 ;

杨鹏远 ;

成荣 ;

许岩 ;

穆海华 ;

王建冲 ;

唐娜娜 .

中国专利 :CN205406505U ,2016-07-27

[3]

静电卡盘装置 [P].

朱煜 ;

徐登峰 ;

许岩 ;

杨鹏远 ;

穆海华 ;

成荣 ;

唐娜娜 ;

韩玮琦 ;

张鸣 ;

杨开明 .

中国专利 :CN107154376A ,2017-09-12

[4]

陶瓷静电卡盘装置 [P].

徐登峰 ;

朱煜 ;

许岩 ;

杨鹏远 ;

成荣 ;

侯占杰 ;

唐娜娜 ;

雷忠兴 ;

王建冲 ;

韩玮琦 .

中国专利 :CN206022339U ,2017-03-15

[5]

陶瓷静电卡盘装置 [P].

徐登峰 ;

朱煜 ;

杨鹏远 ;

许岩 ;

成荣 ;

唐娜娜 ;

侯占杰 ;

雷忠兴 ;

王建冲 ;

韩玮琦 .

中国专利 :CN205900519U ,2017-01-18

[6]

静电卡盘装置及其集成工艺 [P].

朱煜 ;

徐登峰 ;

杨鹏远 ;

成荣 ;

许岩 ;

穆海华 ;

王建冲 ;

唐娜娜 .

中国专利 :CN107154375A ,2017-09-12

[7]

静电卡盘的电极 [P].

陈俊泓 ;

J·莱辛斯基 ;

刘研 .

美国专利 :CN309079217S ,2025-01-21

[8]

石墨烯电极制作装置 [P].

姚培智 ;

许沛清 .

中国专利 :CN212725378U ,2021-03-16

[9]

一种静电卡盘装置 [P].

杨鹏远 ;

王建冲 ;

张玉利 ;

唐娜娜 ;

侯占杰 ;

王超星 ;

黎远成 ;

何宏庆 ;

樊文凤 .

中国专利 :CN213936153U ,2021-08-10

[10]

静电卡盘 [P].

宋俊超 ;

李玉站 .

中国专利 :CN203434138U ,2014-02-12

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